A 'chiad leth pàirt -SiC epitaxial uidheam pàirtean

Tuairisgeul goirid:

Pàirtean grafait còmhdaichte le SiC airson uidheamachd epitaxial SiC bho LPE san Eadailt

Ro-ràdh agus cleachdadh toraidh: Seòmar freagairt uidheamachd epitaxial SiC pàirtean eile den charbad, teòthachd fo smachd

Suidheachadh inneal an toraidh: anns an t-seòmar freagairt, gun a bhith ann an conaltradh dìreach ris an wafer

Prìomh thoraidhean sìos an abhainn: innealan cumhachd

Prìomh mhargaidh crìochnachaidh: carbadan lùtha ùra