Glacadair baraille còmhdaichte le SiC gnàthaichte

Glacadair baraille’S e prìomh phàirt a th’ ann am pròiseasan fàis epitaxial leth-chonnsachaidh leithid MOCVD, MBE, CVD. Tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid gus wafers a ghiùlan ann an seòmraichean ath-bhualadh àrd-teodhachd agus àrainneachd raon teirmeach cunbhalach is seasmhach a thoirt seachad gus dèanamh cinnteach à tasgadh mionaideach de shreathan epitaxial (leithid GaN, SiC, msaa.). ’S e a phrìomh dhleastanas cunbhalachd àrd a choileanadh ann an teòthachd uachdar wafer tro smachd mionaideach air raon teirmeach, agus mar sin a’ dèanamh cinnteach à tiugh, dùmhlachd doping, agus cunbhalachd structar criostail fhilmichean tana epitaxial.

Bidh sinn a’ cleachdadh ar teicneòlas peutant gus angabhadair baraillele purrachd air leth àrd, deagh aonfhoirmeachd còmhdach agus beatha seirbheis sàr-mhath, a bharrachd air feartan àrd-sheasmhachd cheimigeach agus seasmhachd teirmeach.

Bidh VET Energy a’ cleachdadh grafait àrd-ghlan le còmhdach CVD-SiC gus an seasmhachd cheimigeach a leasachadh:

1. Stuth grafait àrd-ghlanachd
Seòltachd teirmeach àrd: tha seoltachd teirmeach grafait trì uiread nas motha na silicon, agus faodaidh e teas a ghluasad gu sgiobalta bhon stòr teasachaidh chun na wafer agus an ùine teasachaidh a ghiorrachadh.
Neart meacanaigeach: Dùmhlachd grafait cuideam isostatach ≥ 1.85 g/cm³, comasach air seasamh ri teòthachd àrd os cionn 1200 ℃ gun deformachadh.

2. Còmhdach SiC CVD
Tha sreath β-SiC air a chruthachadh air uachdar grafait le tasgadh smùid ceimigeach (CVD), le purrachd ≥ 99.99995%, tha mearachd aonfhoirmeileachd tighead a’ chòmhdaich nas lugha na ± 5%, agus tha garbh-chruth an uachdair nas lugha na Ra0.5um.

3. Leasachadh coileanaidh:
Frith-aghaidh creimeadh: faodaidh e seasamh an aghaidh gasaichean creimneach àrd leithid Cl2, HCl, msaa, agus faodaidh e fad-beatha epitaxy GaN a leudachadh trì tursan ann an àrainneachd NH3.
Seasmhachd teirmeach: Tha an co-èifeachd leudachaidh teirmeach (4.5 × 10-6/℃) a’ freagairt ri grafait gus casg a chuir air sgàineadh còmhdach air adhbhrachadh le atharrachaidhean teòthachd.
Cruas agus Seasmhachd an aghaidh Caitheamh: Tha cruas Vickers a’ ruighinn 28 GPa, a tha 10 tursan nas àirde na grafait agus a dh’ fhaodadh cunnart sgrìoban wafer a lughdachadh.