Mar a chithear gu h-àrd, tha e àbhaisteach
A’ chiad leth:
Element teasachaidh (coil teasachaidh): suidhichte timcheall air an tiùb fhùirneis, mar as trice air a dhèanamh le uèirichean dìon, air an cleachdadh gus taobh a-staigh tiùb an fhùirneis a theasachadh.
Tube Quartz: Aig cridhe fùirneis oxidation teth, air a dhèanamh de èiteag àrd-ghlan as urrainn seasamh ri teòthachd àrd agus fuireach gu ceimigeach neo-sheasmhach.
Gas Feed: Suidhichte aig mullach no taobh tiùb an fhùirneis, tha e air a chleachdadh gus ocsaidean no gasaichean eile a ghiùlan gu taobh a-staigh tiùb an fhùirneis.
SS Flange: co-phàirtean a tha a 'ceangal phìoban quartz agus loidhnichean gas, a' dèanamh cinnteach à teann agus seasmhachd a 'cheangail.
Loidhne biadhaidh gas: Pìoban a cheanglas an MFC ris a’ phort solarachaidh gas airson sgaoileadh gas.
MFC (Smachd Sruth Mòr): Inneal a bhios a’ cumail smachd air sruthadh gas taobh a-staigh tiùb èiteag gus an ìre de ghas a tha a dhìth a riaghladh gu mionaideach.
Vent: Air a chleachdadh airson an gas fuadain bho thaobh a-staigh tiùb an fhùirneis gu taobh a-muigh an uidheim.
Pàirt ìseal
Wafers Silicon ann an Sealbh: Tha wafers silicon air an cumail ann an neach-gleidhidh sònraichte gus dèanamh cinnteach à teas èideadh aig àm oxidation.
Neach-gleidhidh wafer: Air a chleachdadh gus an wafer silicon a chumail agus dèanamh cinnteach gum fuirich an wafer silicon seasmhach tron phròiseas.
Pedestal: Structar anns a bheil inneal-gleidhidh sileaconach, mar as trice air a dhèanamh de stuth a tha an aghaidh teòthachd àrd.
Elevator: Air a chleachdadh gus luchd-gleidhidh Wafer a thogail a-steach agus a-mach à tiùban quartz airson a bhith a’ luchdachadh agus a’ luchdachadh wafers silicon gu fèin-ghluasadach.
Wafer Transfer Robot: suidhichte air taobh inneal tiùb an fhùirneis, tha e air a chleachdadh gus an wafer silicon a thoirt air falbh bhon bhogsa gu fèin-ghluasadach agus a chuir anns an tiùb fhùirneis, no a thoirt air falbh às deidh a ghiullachd.
Carousel Stòraidh Cassette: Thathas a’ cleachdadh carousel stòraidh cassette gus bogsa anns a bheil wafers silicon a stòradh agus faodar a thionndadh airson faighinn a-steach do robot.
Cassette Wafer: Bithear a’ cleachdadh cèise wafer gus na wafers sileaconach a stòradh agus a ghluasad gu bhith air an giullachd.
Ùine puist: Giblean-22-2024