Tha structar a-staigh uidheamachd tiùb an fhùirneis air a mhìneachadh gu mionaideach

Mar a chithear gu h-àrd, tha e àbhaisteach

A’ chiad leth:

▪ Eileamaid teasachaidh (coil teasachaidh):

suidhichte timcheall air tiùb an fhùirneis, mar as trice air a dhèanamh le uèirichean dìon, air an cleachdadh gus taobh a-staigh tiùb an fhùirneis a theasachadh.

▪ Quartz Tube:

Aig cridhe fùirneis oxidation teth, air a dhèanamh de èiteag àrd-ghlan as urrainn seasamh ri teòthachd àrd agus fuireach gu ceimigeach neo-sheasmhach.

▪ Biadhadh gas:

Suidhichte aig mullach no taobh tiùb an fhùirneis, tha e air a chleachdadh gus ocsaidean no gasaichean eile a ghiùlan gu taobh a-staigh tiùb an fhùirneis.

▪ Flange SS:

co-phàirtean a tha a 'ceangal phìoban quartz agus loidhnichean gas, a' dèanamh cinnteach à teann agus seasmhachd a 'cheangail.

▪ Loidhne biadhaidh gas:

Pìoban a tha a 'ceangal an MFC ris a' phort solarachaidh gas airson sgaoileadh gas.

▪ MFC (Stiùiriche Sruth Mòr):

Inneal a bhios a’ cumail smachd air sruthadh gas taobh a-staigh tiùb quartz gus an ìre de ghas a tha a dhìth a riaghladh gu mionaideach.

▪ Fionnar:

Air a chleachdadh gus an gas fuadain a thionndadh bho thaobh a-staigh tiùb an fhùirneis gu taobh a-muigh an uidheamachd.

Pàirt as ìsle:

▪ Wafers Silicon ann an neach-gleidhidh:

Tha wafers silicon air an cumail ann an neach-gleidhidh sònraichte gus dèanamh cinnteach à teas èideadh rè oxidation.

▪ Neach-gleidhidh wafer:

Air a chleachdadh gus an wafer silicon a chumail agus dèanamh cinnteach gum fuirich an wafer silicon seasmhach tron phròiseas.

▪ Pedestal:

Structar a tha a’ cumail gleidhidh wafer sileaconach, mar as trice air a dhèanamh de stuth a tha an aghaidh teòthachd àrd.

▪ Elevator:

Air a chleachdadh airson luchd-gleidhidh Wafer a thogail a-steach agus a-mach à pìoban quartz airson a bhith a’ luchdachadh agus a’ luchdachadh wafers silicon gu fèin-ghluasadach.

▪ Robot gluasaid wafer:

suidhichte air taobh inneal tiùb an fhùirneis, tha e air a chleachdadh gus an wafer silicon a thoirt air falbh bhon bhogsa gu fèin-ghluasadach agus a chuir anns an tiùb fhùirneis, no a thoirt air falbh às deidh a ghiullachd.

▪ Carousel stòraidh cassette:

Bithear a’ cleachdadh carousel stòraidh cassette gus bogsa anns a bheil wafers silicon a stòradh agus faodar a thionndadh airson faighinn a-steach do robot.