An AdhartachSiC Cantilever Paddleairson Wafer Processing a chaidh a chruthachadh le vet-china a’ toirt seachad fuasgladh sàr-mhath airson saothrachadh semiconductor. Tha am pleadhag cantilever seo air a dhèanamh de stuth SiC (silicon carbide), agus tha a chruas àrd agus an aghaidh teas a’ toirt cothrom dha coileanadh sàr-mhath a chumail suas ann an teòthachd àrd agus àrainneachdan creimneach. Tha dealbhadh an Cantilever Paddle a 'leigeil leis an wafer a bhith air a chumail suas gu h-earbsach aig àm giullachd, a' lùghdachadh cunnart briseadh agus milleadh.
SiC Cantilever Paddlena phàirt speisealta a thathas a’ cleachdadh ann an uidheamachd saothrachadh semiconductor leithid fùirneis oxidation, fùirneis sgaoilidh, agus fùirneis annealing, is e am prìomh chleachdadh airson luchdachadh is luchdachadh wafer, taic agus giùlan wafers tro phròiseasan àrd-teòthachd.
Structaran cumantaàSiCcfrith-dhubhpcuir a-steach: structar cantilever, stèidhichte aig aon cheann agus saor aig a 'cheann eile, mar as trice tha dealbhadh còmhnard agus coltach ri pleadhag.
Bidh VET Energy a’ cleachdadh stuthan carbide silicon ath-chriostalaichte àrd-ghlan gus càileachd a ghealltainn.
Feartan fiosaigeach ath-chriostalachadh Silicon Carbide | |
Seilbh | Luach àbhaisteach |
Teòthachd obrach (°C) | 1600 ° C (le ocsaidean), 1700 ° C (a 'lùghdachadh àrainneachd) |
Susbaint SiC | > 99.96% |
Susbaint Si saor an asgaidh | < 0.1% |
Meud dùmhlachd | 2.60-2.70 g / cm3 |
Porosity follaiseach | < 16% |
Neart teannachaidh | > 600MPa |
Neart cromadh fuar | 80-90 mpa (20 ° C) |
Neart cromadh teth | 90-100 mpa (1400 ° C) |
Leudachadh teirmeach @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
Giùlan teirmeach @ 1200 ° C | 23W/m•K |
Modal elastic | 240 GPa |
Frith-aghaidh clisgeadh teirmeach | Air leth math |
Is iad na buannachdan a tha aig Paddle Cantilever SiC Advanced VET Energy airson Giullachd Wafer:
-Seasmhachd teòthachd àrd: faodar a chleachdadh ann an àrainneachdan os cionn 1600 ° C;
- Co-èifeachd leudachaidh teirmeach ìosal: a ’cumail seasmhachd meudachd, a’ lughdachadh cunnart warpage wafer;
-High purity: cunnart nas ìsle de thruailleadh meatailt;
-Inertness ceimigeach: resistant meirg, freagarrach airson diofar àrainneachdan gas;
- Àrd neart agus cruas: caitheamh-dhìonach, seirbheis fhada beatha;
- Deagh ghiùlan teirmeach: a ’cuideachadh le teasachadh wafer èideadh.