Fuinneamh VETIs croí-inchaite é bád graifíte PECVD le haghaidh cealla gréine atá deartha le haghaidh próiseas PECVD (deistiúchán gaile ceimiceach feabhsaithe plasma) cealla gréine. Tá an bád graifít déanta as graifít isostatach ard-íonachta le porosity níos lú ná 15% agus garbh dromchla Ra≤1.6μm. Tá airíonna den scoth aige mar fhriotaíocht teocht ard, friotaíocht creimeadh, agus cobhsaíocht tríthoiseach. Cinntíonn cobhsaíocht tríthoiseach den scoth agus seoltacht theirmeach taisceadh scannán aonfhoirmeach agus feabhsaítear éifeachtúlacht na ceallraí. Féadann sé iompróir cobhsaí a sholáthar i dtimpeallacht PECVD ard-teocht agus ardbhrú chun taisceadh aonfhoirmeach agus ardchaighdeán scannán cealla gréine a chinntiú.
Ábhar graifíte ó SGL:
Paraiméadar tipiciúil: R6510 | |||
Innéacs | Caighdeán tástála | Luach | Aonad |
Meánmhéid gráin | ISO 13320 | 10 | μm |
Dlús mórchóir | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Oscailt porosity | Din66133 | 10 | % |
Méid pore meánach | Din66133 | 1.8 | μm |
Tréscaoilteacht | DIN 51935 | 0. 06 | cm²/s |
Cruas Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Friotaíocht leictreach ar leith | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Neart flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Neart comhbhrúiteach | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modal Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Leathnú teirmeach (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Seoltacht theirmeach (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Tá sé deartha go sonrach le haghaidh déantúsaíochta cealla gréine ard-éifeachtúlachta, ag tacú le próiseáil wafer mór-mhéid G12. Méadaíonn dearadh iompróra optamaithe go mór tréchur, rud a fhágann go bhfuil rátaí toraidh níos airde agus costais táirgthe níos ísle ar fáil.
Mír | Cineál | Iompróir wafer uimhreacha |
Bád grephite PEVCD - An 156 sraith | 156-13 bád grephite | 144 |
156-19 bád grephite | 216 | |
156-21 bád grephite | 240 | |
156-23 bád grafite | 308 | |
Bád grephite PEVCD - An 125 sraith | 125-15 bád grephite | 196 |
125-19 bád grephite | 252 | |
125-21 grphite bád | 280 |