Iompróir Graifít don phróiseas PECVD

Iompróir Graifít do Phróiseas PECVD Íomhá Réadmhaoin

Cur síos gairid:

Fuinneamh VETIs comhpháirt chun cinn é Bád Graphite PECVD do Phainéal Gréine atá deartha go sonrach chun painéil ghréine ardfheidhmíochta a tháirgeadh. Úsáidtear é i bpróisis Taiscí Gaile Ceimiceacha Feabhsaithe Plasma (PECVD), cinntíonn an bád graifíte seo láimhseáil ábhar is fearr agus taisceadh aonfhoirmeach scannán tanaí ar chealla gréine. Innealtóireacht le haghaidh beachtas agus marthanacht, soláthraíonn sé seoltacht teirmeach níos fearr, friotaíocht ard creimeadh, agus éilliú íosta, atá riachtanach chun painéil gréine éifeachtach ard-chaighdeán a tháirgeadh.

Seol ríomhphost chugainn Íoslódáil mar PDF

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Fuinneamh VETIs iompróir graifíte próisis PECVD inchaite ardcháilíochta atá oiriúnaithe do phróiseas PECVD (taiscí gaile ceimiceach feabhsaithe plasma). Tá an t-iompróir graifít seo déanta as ábhar graifít ard-íonachta, ard-dlúis, le friotaíocht ardteochta den scoth, friotaíocht creimeadh, cobhsaíocht tríthoiseach agus tréithe eile, is féidir ardán iompróra cobhsaí a sholáthar do phróiseas PECVD, chun aonfhoirmeacht agus maoile scannán tanaí a chinntiú. taisceadh.

Tá na tréithe seo a leanas ag iompróirí graifíte le haghaidh próiseas PECVD:

▪ Ard-íonacht: ábhar eisíontais thar a bheith íseal, éilliú an scannáin a sheachaint agus cáilíocht an scannáin a chinntiú.

▪ Ard-dlús: ard-dlús, neart meicniúil ard, in ann teocht ard agus timpeallacht PECVD ardbhrú a sheasamh.

▪ Cobhsaíocht mhaith tríthoiseach: athrú beag tríthoiseach ag teocht ard, ag cinntiú cobhsaíocht próisis.

▪ Seoltacht theirmeach den scoth: aistrigh an teas go héifeachtach chun róthéamh sliseog a chosc.

▪ Friotaíocht láidir creimeadh: in ann seasamh in aghaidh creimeadh ag gás creimneach agus plasma éagsúla.

▪ Seirbhís saincheaptha: is féidir iompróirí graifíte de mhéideanna agus de chruthanna éagsúla a shaincheapadh de réir riachtanais an chustaiméara.

Ábhar graifíte ó SGL:

Paraiméadar tipiciúil: R6510
Innéacs	Caighdeán tástála	Luach	Aonad
Meánmhéid gráin	ISO 13320	10	μm
Dlús mórchóir	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oscailt porosity	Din66133	10	%
Méid pore meánach	Din66133	1.8	μm
Tréscaoilteacht	DIN 51935	0. 06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Friotaíocht leictreach ar leith	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Neart flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart comhbhrúiteach	DIN 51910	130	MPa
Modal Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Leathnú teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Seoltacht theirmeach (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tá sé deartha go sonrach le haghaidh déantúsaíochta cealla gréine ard-éifeachtúlachta, ag tacú le próiseáil wafer mór-mhéid G12. Méadaíonn dearadh iompróra optamaithe go mór tréchur, rud a fhágann go bhfuil rátaí toraidh níos airde agus costais táirgthe níos ísle ar fáil.

Mír	Cineál	Iompróir wafer uimhreacha
Bád grephite PEVCD - An 156 sraith	156-13 bád grephite	144
	156-19 bád grephite	216
	156-21 bád grephite	240
	156-23 bád grafite	308
Bád grephite PEVCD - An 125 sraith	125-15 bád grephite	196
	125-19 bád grephite	252
	125-21 grphite bád	280