Mar chineál nua ábhair leathsheoltóra, is é SiC an t-ábhar leathsheoltóra is tábhachtaí chun feistí optoelectronicacha gearr-thonnfhad, feistí ardteochta, feistí friotaíochta radaíochta agus feistí leictreonacha ardchumhachta / ardchumhachta a mhonarú mar gheall ar a airíonna fisiceacha agus ceimiceacha den scoth agus airíonna leictreacha. Go háirithe nuair a chuirtear i bhfeidhm iad faoi dhálaí foircneacha agus déine, sáraíonn tréithe feistí SiC iad siúd a bhaineann le feistí Si agus feistí GaAs. Dá bhrí sin, tá feistí SiC agus cineálacha éagsúla braiteoirí de réir a chéile ar cheann de na príomhfheistí, ag imirt ról níos mó agus níos tábhachtaí.
D'fhorbair feistí agus ciorcaid SiC go tapa ó na 1980í, go háirithe ó 1989 nuair a tháinig an chéad wafer tsubstráit SiC isteach sa mhargadh. I réimsí áirithe, mar dé-óid astaithe solais, feistí ard-chumhachta ard-minicíochta agus ardvoltais, úsáidtear feistí SiC go forleathan ar bhonn tráchtála. Tá an fhorbairt tapa. Tar éis beagnach 10 mbliana d'fhorbairt, tá próiseas gléas SiC in ann feistí tráchtála a mhonarú. Tá roinnt cuideachtaí a ndearna Cree ionadaíocht dóibh tar éis tosú ag tairiscint táirgí tráchtála feistí SiC. Tá éachtaí sásúla déanta ag institiúidí taighde baile agus ollscoileanna freisin i bhfás ábhar SiC agus i dteicneolaíocht déantúsaíochta gléasanna. Cé go bhfuil airíonna fisiceacha agus ceimiceacha an-ard ag an ábhar SiC, agus tá teicneolaíocht gléas SiC aibí freisin, ach níl feidhmíocht feistí agus ciorcaid SiC níos fearr. Chomh maith leis an ábhar SiC agus próiseas gléas is gá a fheabhsú i gcónaí. Ba cheart níos mó iarrachtaí a dhéanamh maidir le leas a bhaint as ábhair SiC trí struchtúr feiste S5C a bharrfheabhsú nó struchtúr feiste nua a mholadh.
Faoi láthair. Díríonn taighde feistí SiC go príomha ar fheistí scoite. Maidir le gach cineál struchtúr feiste, is é an taighde tosaigh ná an struchtúr feiste Si nó GaAs comhfhreagrach a thrasphlandú go SiC gan leas iomlán a bhaint as struchtúr an fheiste. Ós rud é go bhfuil an ciseal ocsaíd intreach de SiC mar an gcéanna le Si, is é sin SiO2, ciallaíonn sé gur féidir an chuid is mó de na feistí Si, go háirithe feistí m-pa, a mhonarú ar SiC. Cé nach bhfuil sé ach trasphlandú simplí, tá torthaí sásúla bainte amach ag cuid de na feistí a fuarthas, agus tá cuid de na feistí tar éis dul isteach sa mhargadh mhonarcha cheana féin.
Chuaigh feistí optoelectronic SiC, go háirithe dé-óid astaithe solais gorm (LEDs BLU-ray), isteach sa mhargadh go luath sna 1990idí agus is iad na chéad fheistí SiC olltáirgthe iad. Tá dé-óid SiC Schottky ardvoltais, trasraitheoirí cumhachta SiC RF, SiC MOSFETanna agus mesFETanna ar fáil ar bhonn tráchtála freisin. Ar ndóigh, tá feidhmíocht na dtáirgí SiC seo go léir i bhfad ó shaintréithe super na n-ábhar SiC a imirt, agus ní mór taighde agus forbairt a dhéanamh ar fheidhm agus ar fheidhmíocht níos láidre feistí SiC fós. Is minic nach féidir le trasphlandú simplí den sórt sin leas iomlán a bhaint as na buntáistí a bhaineann le hábhair SiC. Fiú i réimse na buntáistí a bhaineann le feistí SiC. Ní féidir le roinnt de na gléasanna SiC a monaraíodh ar dtús feidhmíocht na ngléasanna Si nó CaAs comhfhreagracha a mheaitseáil.
D'fhonn na buntáistí a bhaineann le saintréithe ábhar SiC a chlaochlú níos fearr i buntáistí feistí SiC, táimid ag staidéar faoi láthair conas an próiseas déantúsaíochta gléas agus struchtúr feiste a bharrfheabhsú nó struchtúir nua agus próisis nua a fhorbairt chun feidhm agus feidhmíocht feistí SiC a fheabhsú.
Am postála: Lúnasa-23-2022