Mínítear go mion struchtúr inmheánach an trealaimh feadáin foirnéise

Mar a léirítear thuas, is tipiciúil

An chéad leath:
Eilimint Téamh (corna téimh): suite timpeall an fheadáin foirnéise, déanta as sreanga friotaíochta de ghnáth, a úsáidtear chun an taobh istigh den fheadán foirnéise a théamh.
Tube Grianchloch: Croílár foirnéise ocsaídiúcháin te, déanta as Grianchloch ard-íonachta atá in ann teocht ard a sheasamh agus fanacht go ceimiceach támh.
Beatha Gáis: Lonnaithe ar thaobh uachtarach nó taobh an fheadáin foirnéise, úsáidtear é chun ocsaigine nó gáis eile a iompar chuig an taobh istigh den fheadán foirnéise.
SS Flange: comhpháirteanna a nascann feadáin Grianchloch agus línte gáis, ag cinntiú tightness agus cobhsaíocht an nasc.
Línte Beatha Gáis: Píopaí a nascann an MFC leis an gcalafort soláthair gáis le haghaidh tarchur gáis.
MFC (Rialaitheoir Sreafa Aifrinn): Feiste a rialaíonn sreabhadh an gháis laistigh d'fheadán Grianchloch chun an méid gáis a theastaíonn a rialú go beacht.
Vent: Úsáidtear é chun an gás sceite a aeráil ón taobh istigh den fheadán foirnéise go dtí an taobh amuigh den trealamh.

An chuid íochtair
Sliseog Sileacain i Sealbhóir: Tá sliseoga sileacain lonnaithe i Sealbhóir speisialta chun teas aonfhoirmeach a chinntiú le linn ocsaídiúcháin.
Sealbhóir Wafer: Úsáidtear é chun an wafer sileacain a shealbhú agus a chinntiú go bhfanann an wafer sileacain cobhsaí le linn an phróisis.
Pedestal: Struchtúr a shealbhaíonn Sealbhóir wafer sileacain, de ghnáth déanta as ábhar resistant teocht ard.
Ardaitheoir: Úsáidtear é chun sealbhóirí Wafer a ardú isteach agus amach as feadáin Grianchloch chun sliseog sileacain a luchtú agus a dhíluchtú go huathoibríoch.
Robot Aistrithe Wafer: atá suite ar thaobh na feiste feadán foirnéise, úsáidtear é chun an wafer sileacain a bhaint as an mbosca go huathoibríoch agus é a chur sa fheadán foirnéise, nó é a bhaint tar éis a phróiseáil.
Timpeallán Stórála Caiséad: Úsáidtear timpeallán stórála caiséad chun bosca a stóráil ina bhfuil sliseog sileacain agus is féidir é a rothlú le haghaidh rochtana robot.
Caiséad Wafer: úsáidtear caiséad wafer chun na sliseog sileacain a stóráil agus a aistriú atá le próiseáil.