Áirítear go príomha le táirgeadh feistí leathsheoltóra feistí scoite, ciorcaid chomhtháite agus a bpróisis phacáistithe.
Is féidir táirgeadh leathsheoltóra a roinnt ina thrí chéim: táirgeadh ábhar comhlacht táirge, táirgesliseagdéantúsaíocht agus cóimeáil gléasanna. Ina measc, is é an truailliú is tromchúisí ná céim déantúsaíochta wafer an táirge.
Roinntear truailleáin go príomha i bhfuíolluisce, gás dramhaíola agus dramhaíl sholadach.
Próiseas déantúsaíochta sliseanna:
sliseog sileacaintar éis meilt seachtrach - glanadh - ocsaídiú - resist aonfhoirmeach - photolithography - forbairt - eitseáil - idirleathadh, ionchlannú ian - taisceadh gaile ceimiceach - snasta meicniúil ceimiceach - miotalú, etc.
Fuíolluisce
Gintear méid mór fuíolluisce i ngach céim den phróiseas déantúsaíochta agus tástála pacáistithe leathsheoltóra, go príomha fuíolluisce aigéad-bun, fuíolluisce ina bhfuil amóinia agus fuíolluisce orgánach.
1. Fuíolluisce ina bhfuil fluairín:
Éiríonn aigéad hidreafluarach an príomh-tuaslagóir a úsáidtear i bpróisis ocsaídiúcháin agus eitseála mar gheall ar a airíonna ocsaídeacha agus creimneach. Tagann fuíolluisce ina bhfuil fluairín sa phróiseas go príomha as an bpróiseas idirleata agus próiseas snasta meicniúil ceimiceach sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna. I bpróiseas glantacháin sliseog sileacain agus uirlisí gaolmhara, úsáidtear aigéad hidreaclórach go leor uaireanta freisin. Críochnaítear na próisis seo go léir in umair eitseála tiomnaithe nó i dtrealamh glantacháin, ionas gur féidir fuíolluisce ina bhfuil fluairín a urscaoileadh go neamhspleách. De réir an tiúchan, is féidir é a roinnt ina fhuíolluisce ard-tiúchan ina bhfuil fluairín agus fuíolluisce íseal-tiúchan ina bhfuil amóinia. Go ginearálta, is féidir le tiúchan ard-tiúchan fuíolluisce ina bhfuil amóinia 100-1200 mg/L a bhaint amach. Déanann an chuid is mó de na cuideachtaí an chuid seo den fhuíolluisce a athchúrsáil le haghaidh próisis nach dteastaíonn ardchaighdeán uisce uathu.
2. Fuíolluisce aigéad-bun:
Éilíonn beagnach gach próiseas sa phróiseas déantúsaíochta ciorcaid chomhtháite an sliseanna a ghlanadh. Faoi láthair, is iad aigéad sulfarach agus sárocsaíd hidrigine na sreabhán glantacháin is coitianta a úsáidtear sa phróiseas déantúsaíochta ciorcad iomlánaithe. Ag an am céanna, úsáidtear imoibrithe aigéad-bun mar aigéad nítreach, aigéad hidreaclórach agus uisce amóinia freisin.
Tagann fuíolluisce aigéad-bonn an phróisis déantúsaíochta go príomha as an bpróiseas glantacháin sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna. Sa phróiseas pacáistithe, déantar an sliseanna a chóireáil le tuaslagán aigéad-bun le linn leictreaphlátála agus anailís cheimiceach. Tar éis cóireála, ní mór é a nite le huisce íon chun fuíolluisce níocháin aigéad-bun a tháirgeadh. Ina theannta sin, úsáidtear imoibrithe aigéad-bun mar hiodrocsaíd sóidiam agus aigéad hidreaclórach freisin sa stáisiún uisce íon chun roisíní anian agus cataithe a athghiniúint chun fuíolluisce athghiniúna aigéad-bonn a tháirgeadh. Táirgtear uisce eireaball níocháin freisin le linn phróiseas níocháin an gháis dramhaíola aigéad-bun. I gcuideachtaí déantúsaíochta ciorcaid chomhtháite, tá an méid fuíolluisce aigéad-bonn go háirithe mór.
3. Fuíolluisce orgánach:
Mar gheall ar phróisis táirgthe éagsúla, tá an méid tuaslagóirí orgánacha a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra an-difriúil. Mar ghníomhairí glantacháin, áfach, úsáidtear tuaslagóirí orgánacha go forleathan fós i naisc éagsúla de phacáistiú déantúsaíochta. Éiríonn roinnt tuaslagóirí urscaoileadh fuíolluisce orgánach.
4. Fuíolluisce eile:
Úsáidfidh próiseas eitseála an phróisis táirgthe leathsheoltóra méid mór amóinia, fluairín agus uisce ard-íonachta le haghaidh dí-éillithe, rud a chruthóidh doirteadh fuíolluisce ard-tiúchana ina bhfuil amóinia.
Tá gá leis an bpróiseas leictreaphlátála sa phróiseas pacáistithe leathsheoltóra. Is gá an sliseanna a ghlanadh tar éis leictreaphlátála, agus ginfear fuíolluisce glantacháin leictreaphlátála sa phróiseas seo. Ós rud é go n-úsáidtear roinnt miotail i leictreaphlátála, beidh astuithe ian miotail san fhuíolluisce glantacháin leictreaphlátála, mar shampla luaidhe, stáin, diosca, since, alúmanam, etc.
Gás dramhaíola
Ós rud é go bhfuil ceanglais an-ard ag an bpróiseas leathsheoltóra maidir le glaineacht an tseomra oibriúcháin, is gnách go n-úsáidtear lucht leanúna chun cineálacha éagsúla gáis dramhaíola a luaineacht a bhaint as le linn an phróisis. Dá bhrí sin, tá líon mór sceite agus tiúchan astaíochtaí íseal ag baint le hastaíochtaí gáis dramhaíola sa tionscal leathsheoltóra. Déantar astaíochtaí gás dramhaíola a luainiú go príomha freisin.
Is féidir na hastaíochtaí gáis dramhaíola seo a roinnt go príomha i gceithre chatagóir: gás aigéadach, gás alcaileach, gás dramhaíola orgánach agus gás tocsaineach.
1. Gás dramhaíola aigéad-bun:
Tagann gás dramhaíola aigéad-bun go príomha ó idirleathadh,CVD, CMP agus próisis eitseála, a úsáideann réiteach glantacháin bonn-aigéad chun an wafer a ghlanadh.
Faoi láthair, is é an tuaslagóir glantacháin is coitianta a úsáidtear i bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra meascán de shárocsaíd hidrigine agus aigéad sulfarach.
Áirítear leis an ngás dramhaíola a ghintear sna próisis seo gáis aigéadacha mar aigéad sulfarach, aigéad hidreafluarach, aigéad hidreaclórach, aigéad nítreach agus aigéad fosfarach, agus is é an gás alcaileach den chuid is mó amóinia.
2. Gás dramhaíola orgánach:
Tagann gás dramhaíola orgánach go príomha ó phróisis mar fhótaliteagrafaíocht, forbairt, eitseáil agus idirleathadh. Sna próisis seo, úsáidtear tuaslagán orgánach (cosúil le alcól isopropil) chun dromchla an wafer a ghlanadh, agus tá an gás dramhaíola a ghintear trí volatilization ar cheann de na foinsí gáis dramhaíola orgánach;
Ag an am céanna, tá tuaslagóirí orgánacha so-ghalaithe, mar shampla aicéatáit bhúitile, sa photoresist (photoresist) a úsáidtear sa phróiseas photolithography agus eitseáil, a volatilizes isteach san atmaisféar le linn an phróisis próiseála wafer, a bhfuil foinse eile de ghás dramhaíola orgánach.
3. Gás dramhaíola tocsaineach:
Tagann gás dramhaíola tocsaineach go príomha ó phróisis cosúil le epitaxy criostail, eitseáil tirim agus CVD. Sna próisis seo, úsáidtear éagsúlacht de gháis speisialta ard-íonachta chun an wafer a phróiseáil, mar shampla sileacain (SiHj), fosfar (PH3), teitreaclóiríd charbóin (CFJ), bórán, trí-ocsaíd bórón, etc. Tá roinnt gáis speisialta tocsaineach, asphyxiating agus creimneach.
Ag an am céanna, sa phróiseas tirim eitseála agus glantacháin tar éis sil-leagan ceimiceach gaile i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, tá gá le méid mór gáis lánocsaíde (PFCS), mar shampla NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, etc. Na comhdhúile perfluairínithe seo tá ionsú láidir sa réigiún solais infridhearg agus fanacht san atmaisféar ar feadh i bhfad. Meastar go ginearálta gurb iad príomhfhoinse an iarmhairt cheaptha teasa dhomhanda iad.
4. Gás dramhaíola próiseas pacáistithe:
I gcomparáid leis an bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, tá an gás dramhaíola a ghineann an próiseas pacáistithe leathsheoltóra sách simplí, go príomha gás aigéadach, roisín eapocsa agus deannaigh.
Gintear gás dramhaíola aigéadach go príomha i bpróisis ar nós leictreaphlátála;
Gintear gás dramhaíola bácála sa phróiseas bácála tar éis an táirge a ghreamú agus a shéaladh;
Gineann an meaisín dicing gás dramhaíola ina bhfuil rian de dheannach sileacain le linn an phróisis gearrtha sliseog.
Fadhbanna truaillithe comhshaoil
Maidir leis na fadhbanna truaillithe comhshaoil sa tionscal leathsheoltóra, is iad na príomhfhadhbanna a chaithfear a réiteach ná:
· Astaíocht ar mhórscála truailleán aeir agus comhdhúile so-ghalaithe orgánacha (VOCanna) sa phróiseas fótailiteagrafaíocht;
· Astaíocht comhdhúile sárfhluairínithe (PFCS) i bpróisis eitseála plasma agus sil-leagan ceimiceach gaile;
· Tomhaltas mórscála fuinnimh agus uisce i dtáirgeadh agus i gcosaint sábháilteachta oibrithe;
· Monatóireacht ar athchúrsáil agus ar thruailliú na bhfotháirgí;
· Fadhbanna a bhaineann le ceimiceáin ghuaiseacha a úsáid i bpróisis phacáistithe.
Táirgeadh glan
Is féidir teicneolaíocht táirgthe glan gléas leathsheoltóra a fheabhsú ó ghnéithe na n-amhábhar, na bpróiseas agus an rialaithe próisis.
Feabhas a chur ar amhábhair agus ar fhuinneamh
Gcéad dul síos, ba cheart íonacht na n-ábhar a rialú go docht chun tabhairt isteach neamhíonachtaí agus cáithníní a laghdú.
Ar an dara dul síos, ba cheart teocht éagsúla, braite sceitheadh, creathadh, turraing leictreach ardvoltais agus tástálacha eile a dhéanamh ar na comhpháirteanna atá ag teacht isteach nó ar tháirgí leathchríochnaithe sula gcuirtear i dtáirgeadh iad.
Ina theannta sin, ba cheart íonacht na n-ábhar cúnta a rialú go docht. Tá go leor teicneolaíochtaí ann is féidir a úsáid le haghaidh táirgeadh glan fuinnimh.
Próiseas táirgthe a bharrfheabhsú
Déanann an tionscal leathsheoltóra féin iarracht a thionchar ar an gcomhshaol a laghdú trí fheabhsuithe teicneolaíochta próisis.
Mar shampla, sna 1970idí, baineadh úsáid as tuaslagóirí orgánacha go príomha chun sliseoga a ghlanadh sa teicneolaíocht glantacháin chiorcaid chomhtháite. Sna 1980í, úsáideadh tuaslagáin aigéad agus alcaile ar nós aigéad sulfarach chun sliseog a ghlanadh. Go dtí na 1990idí, forbraíodh teicneolaíocht glantacháin ocsaigin plasma.
Maidir le pacáistiú, úsáideann an chuid is mó de na cuideachtaí teicneolaíocht leictreaphlátála faoi láthair, rud a chuirfidh truailliú miotail throm ar an gcomhshaol.
Mar sin féin, ní úsáideann gléasraí pacáistithe i Shanghai teicneolaíocht leictreaphlátála a thuilleadh, agus mar sin níl aon tionchar ag miotail throma ar an gcomhshaol. Is féidir a fháil amach go bhfuil an tionscal leathsheoltóra ag laghdú a thionchar ar an gcomhshaol de réir a chéile trí fheabhsuithe próisis agus ionadú ceimiceach ina phróiseas forbartha féin, a leanann freisin an treocht forbartha domhanda atá ann faoi láthair maidir le próiseas abhcóideachta agus dearadh táirgí bunaithe ar an gcomhshaol.
Faoi láthair, tá feabhsuithe próisis níos áitiúla á ndéanamh, lena n-áirítear:
·Gás PFCS uile-amóiniam a athsholáthar agus a laghdú, mar shampla gás PFCanna le héifeacht cheaptha teasa íseal a úsáid chun gás a bhfuil iarmhairt cheaptha teasa ard acu a athsholáthar, mar shampla sreabhadh próisis a fheabhsú agus méid an gháis PFCS a úsáidtear sa phróiseas a laghdú;
·Feabhas a chur ar ghlanadh il-wafer go glanadh aon-wafer chun an méid oibreán glantacháin ceimiceach a úsáidtear sa phróiseas glantacháin a laghdú.
· Rialú próiseas dian:
a. Uathoibriú próiseas déantúsaíochta a bhaint amach, ar féidir leo próiseáil beacht agus táirgeadh bhaisc a bhaint amach, agus an ráta ard earráide a bhaineann le hoibriú láimhe a laghdú;
b. Fachtóirí próiseas ultra-glan comhshaoil, tá thart ar 5% nó níos lú den chaillteanas toraidh de bharr daoine agus comhshaoil. Áirítear ar fhachtóirí comhshaoil próisis ultra-ghlan go príomha glaineacht aeir, uisce ard-íonachta, aer comhbhrúite, CO2, N2, teocht, taise, etc. Is minic a dhéantar leibhéal glaineachta ceardlann glan a thomhas de réir an líon uasta cáithníní a cheadaítear in aghaidh an aonaid toirte de. aer, is é sin, tiúchan comhaireamh na gcáithníní;
c. Brath a neartú, agus príomhphointí cuí a roghnú lena bhrath ag stáisiúin oibre le méid mór dramhaíola le linn an phróisis táirgthe.
Fáilte roimh chustaiméirí ar bith ó gach cearn den domhan chun cuairt a thabhairt orainn le haghaidh tuilleadh plé!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Am postála: Lúnasa-13-2024