Is teicneolaíocht thábhachtach um thaisceadh scannán tanaí é Teistíocht Gal Cheimiceach (CVD), a úsáidtear go minic chun scannáin fheidhmiúla éagsúla agus ábhair shraith tanaí a ullmhú, agus úsáidtear go forleathan é i ndéantúsaíocht leathsheoltóra agus réimsí eile.
1. Prionsabal oibre CVD
Sa phróiseas CVD, cuirtear réamhtheachtaí gáis (comhdhúil réamhtheachtaithe gásach amháin nó níos mó) i dteagmháil le dromchla an tsubstráit agus téite go teocht áirithe chun imoibriú ceimiceach agus taisce a chur faoi deara ar dhromchla an tsubstráit chun an scannán nó an sciath atá ag teastáil a fhoirmiú. ciseal. Is soladach é táirge an imoibrithe ceimiceach seo, de ghnáth cumaisc den ábhar atá ag teastáil. Más mian linn sileacain a ghreamú de dhromchla, is féidir linn trichlorosilane (SiHCl3) a úsáid mar ghás réamhtheachtaithe: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Beidh sileacain ina gceangal le haon dromchla nochta (inmheánach agus seachtrach), agus beidh gás clóirín agus aigéad hidreaclórach. a scaoileadh amach as an seomra.
2. Aicmiú CVD
CVD Teirmeach: Tríd an gás réamhtheachtaithe a théamh chun é a dhianscaoileadh agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. CVD Feabhsaithe Plasma (PECVD): Cuirtear plasma le CVD teirmeach chun an ráta imoibrithe a fheabhsú agus chun an próiseas sil-leagan a rialú. Miotal Orgánach CVD (MOCVD): Ag baint úsáide as comhdhúile orgánacha miotail mar gháis réamhtheachtaithe, is féidir scannáin tanaí miotail agus leathsheoltóirí a ullmhú, agus is minic a úsáidtear iad i monarú feistí cosúil le stiúir.
3. Iarratas
(1) Déantúsaíocht leathsheoltóra
Scannán silicíde: a úsáidtear chun sraitheanna inslithe, foshraitheanna, sraitheanna leithlisithe, etc. Scannán nítríde a ullmhú: a úsáidtear chun nítríde sileacain, nítríde alúmanaim, etc., a úsáidtear i soilse stiúir, feistí cumhachta, etc., a úsáidtear chun sraitheanna seoltaí, miotalaithe a ullmhú. sraitheanna, etc.
(2) Teicneolaíocht taispeána
Scannán ITO: Scannán ocsaíd seoltaí trédhearcach, a úsáidtear go coitianta i taispeántais painéil chomhréidh agus scáileáin tadhaill. Scannán copair: a úsáidtear chun sraitheanna pacáistithe, línte seoltaí, etc., a ullmhú chun feidhmíocht feistí taispeána a fheabhsú.
(3) Réimsí eile
Bratuithe optúla: lena n-áirítear bratuithe frith-fhrithchaiteacha, scagairí optúla, etc., sciath frith-chreimeadh: a úsáidtear i gcodanna feithicleach, feistí aeraspáis, etc.
4. Tréithe an phróisis CVD
Bain úsáid as timpeallacht teocht ard chun luas imoibrithe a chur chun cinn. De ghnáth a dhéantar i dtimpeallacht folúis. Ní mór ábhar salaithe ar dhromchla na coda a bhaint roimh phéinteáil. D’fhéadfadh teorainneacha a bheith ag an bpróiseas ar na foshraitheanna is féidir a bhratú, ie teorainneacha teochta nó teorainneacha imoibríochta. Clúdóidh an sciath CVD gach réimse den chuid, lena n-áirítear snáitheanna, poill dall agus dromchlaí inmheánacha. D’fhéadfadh teorainn a chur leis an gcumas sainréimsí a cheilt. Tá tiús scannáin teoranta ag coinníollacha próisis agus ábhair. Greamaitheacht Superior.
5. Buntáistí na teicneolaíochta CVD
Comhionannas: In ann sil-leagan aonfhoirmeach a bhaint amach thar fhoshraitheanna mórlimistéir.
Inrialaitheacht: Is féidir an ráta taisce agus airíonna an scannáin a choigeartú trí ráta sreafa agus teocht an gháis réamhtheachtaithe a rialú.
Solúbthacht: Oiriúnach do thaisceadh ábhair éagsúla, mar shampla miotail, leathsheoltóirí, ocsaídí, etc.
Am postála: Bealtaine-06-2024