Is ábhar leathsheoltóra cumaisc nua é carbide sileacain (SiC). Tá bearna banna mór ag carbide sileacain (thart ar 3 huaire sileacain), neart réimse ríthábhachtach ard (thart ar 10 n-uaire sileacain), seoltacht ard teirmeach (thart ar 3 huaire sileacain). Is ábhar leathsheoltóra tábhachtach den chéad ghlúin eile é. Úsáidtear bratuithe SiC go forleathan sa tionscal leathsheoltóra agus fótavoltach gréine. Go háirithe, éilíonn na híogairí a úsáidtear i bhfás epitaxial na stiúir agus Si epitaxy criostail aonair úsáid a bhaint as sciath SiC. Mar gheall ar threocht láidir aníos na stiúir sa tionscal soilsithe agus taispeána, agus forbairt bhríomhar an tionscail leathsheoltóra,Táirge sciath SiCtá na hionchais an-mhaith.
FÉILE IARRATAIS
Íonacht, Struchtúr SEM, anailís ar thiús arsciath SiC
Tá íonacht bratuithe SiC ar graifít trí úsáid a bhaint as CVD chomh hard le 99.9995%. Is é a struchtúr fcc. Tá na scannáin SiC atá brataithe ar graifít (111) dírithe mar a thaispeántar sna sonraí XRD (Fíor 1) rud a léiríonn a cháilíocht ard criostalach. Tá tiús an scannáin SiC an-aonfhoirmeach mar a thaispeántar i bhFíor 2.
Fíor 2: aonfhoirmeach tiús na scannán SiC SEM agus XRD de scannán béite-SiC ar graifít
Sonraí SEM de CVD SiC scannán tanaí, is é an méid criostail 2 ~ 1 Opm
Is struchtúr ciúbach aghaidh-lárnach é struchtúr criostail an scannáin CVD SiC, agus tá treoshuíomh fáis an scannáin gar do 100%
Carbíd sileacain (SiC) brataitheIs é bonn an bonn is fearr le haghaidh sileacain criostail aonair agus epitaxy GaN, arb é croí-chomhpháirt na foirnéise epitaxy. Is cúlpháirtí lárnach táirgeachta é an bonn le haghaidh sileacain monocrystalline le haghaidh ciorcaid chomhtháite móra. Tá íonacht ard, friotaíocht teocht ard, friotaíocht creimeadh, aerdhíonacht maith agus tréithe ábhar den scoth eile.
Feidhm agus úsáid táirge
Bratach bonn graifíte le haghaidh fás epitaxial sileacain aonchriostail Oiriúnach do mheaisíní Aixtron, srl Tiús sciath: 90 ~ 150um Is é 55mm trastomhas an chliatháin wafer.
Am poist: Mar-14-2022