Úsáideann VET Energy íonacht ultra-ardcairbíd sileacain (SIC)foirmithe ag sil-leagan ceimiceach gaile(CVD)mar bhunábhar le haghaidh fáisCriostail SiCtrí iompar fisiciúil gaile (PVT). I PVT, déantar an bunábhar a luchtú isteach i abreogánagus sublimated ar criostal síl.
Tá gá le foinse ard íonachta chun ardchaighdeán a mhonarúCriostail SiC.
Déanann VET Energy sainfheidhmiú ar SiC mórcháithníneach a sholáthar do PVT toisc go bhfuil dlús níos airde aige ná ábhar cáithníní beaga a chruthaítear trí dhó spontáineach de gháis Si agus C-ina bhfuil. Murab ionann agus shintéiriú soladach-chéim nó imoibriú Si agus C, ní gá foirnéis shintéirithe tiomnaithe nó céim shintéirithe am-íditheach i bhfoirnéis fáis. Tá ráta galú beagnach seasta ag an ábhar mór-cháithníneach seo, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht rith-le-rith.
Réamhrá:
1. Ullmhaigh foinse bloc CVD-SiC: Ar dtús, ní mór duit foinse bloc CVD-SiC ardchaighdeáin a ullmhú, a bhfuil ard-íonacht agus dlús ard de ghnáth. Is féidir é seo a ullmhú le modh sil-leagan ceimiceach gaile (CVD) faoi choinníollacha imoibrithe cuí.
2. Ullmhú an tsubstráit: Roghnaigh substráit chuí mar an tsubstráit le haghaidh fás criostail aonair SiC. I measc na n-ábhar tsubstráit a úsáidtear go coitianta tá cairbíd sileacain, nítríde sileacain, etc., a bhfuil dea-mheaitseáil acu leis an gcriostail aonair SiC atá ag fás.
3. Téamh agus sublimation: Cuir an fhoinse bloc CVD-SiC agus an tsubstráit i bhfoirnéis ardteochta agus cuir coinníollacha sublimation cuí ar fáil. Ciallaíonn sublimation, ag teocht ard, go n-athraíonn an fhoinse bloc go díreach ó staid sholadach go stát gaile, agus ansin ath-chomhdhlúthaíonn sé ar dhromchla an tsubstráit chun criostail aonair a dhéanamh.
4. Rialú teochta: Le linn an phróisis sublimation, is gá an grádán teochta agus an dáileadh teochta a rialú go beacht chun sublimation an fhoinse bloc agus fás criostail aonair a chur chun cinn. Is féidir le rialú teochta cuí cáilíocht criostail idéalach agus ráta fáis a bhaint amach.
5. Rialú atmaisféar: Le linn an phróisis sublimation, is gá an t-atmaisféar imoibrithe a rialú freisin. De ghnáth úsáidtear gás támh ard-íonachta (cosúil le argón) mar ghás iompróra chun brú agus íonacht chuí a choinneáil agus chun éilliú neamhíonachtaí a chosc.
6. Fás criostail aonair: Téann foinse bloc CVD-SiC faoi aistriú céime gaile le linn an phróisis sublimation agus athdhúnann sé ar dhromchla an tsubstráit chun struchtúr criostail aonair a dhéanamh. Is féidir fás tapa criostail aonair SiC a bhaint amach trí choinníollacha sublimation cuí agus rialú grádán teochta.
Tá fáilte mhór romhat cuairt a thabhairt ar ár monarcha, déanaimis tuilleadh plé a dhéanamh!
