Glacadóir Bairille Epitaxial Epi Graphite

Glacadóir Bairille Epitaxial Epi Graphite

Glacadóir Bairille Epitaxial Epi Graphiteis gléas tacaíochta agus téimh saindeartha é a úsáidtear chun foshraitheanna leathsheoltóra a shealbhú agus a théamh le linn próisis déantúsaíochta amhail próisis Teistíochta nó Epitaxy.

Áirítear ar a struchtúr de ghnáth sorcóireach nó beagán bairille-chruthach, gnéithe dromchla pócaí iolracha nó ardán do chur ar an sliseog, is féidir a bheith soladach nó dearadh log, ag brath ar an modh teasa.

Príomhfheidhmeanna an tsóiteáin bairille epitaxial:

-Substráit tacaíocht: tá go daingean sliseog leathsheoltóra iolrach;
-Foinse teasa: soláthraíonn sé teocht ard atá ag teastáil le haghaidh fáis trí théamh;
- aonfhoirmeacht teochta: cinntíonn sé téamh aonfhoirmeach na bhfoshraitheanna;
-Rotation: rothlaíonn sé de ghnáth le linn fáis chun aonfhoirmeacht teochta agus dáileadh gáis a fheabhsú.

Prionsabal oibre susceptor bairille Epi graphite:
- San imoibreoir epitaxial, téitear an susceptor bairille go dtí an teocht riachtanach (go hiondúil 1000 ℃ -1200 ℃ le haghaidh epitaxy sileacain);
-Rothlaíonn an susceptor bairille chun dáileadh teocht aonfhoirmeach agus sreabhadh gáis a chinntiú;
-Dianscaoileann gáis imoibrithe ag teochtaí arda, ag cruthú sraitheanna epitaxial ar dhromchla an tsubstráit.

Feidhmchláir:
-Go príomha a úsáidtear le haghaidh fás epitaxial sileacain
-Infheidhme freisin maidir le epitaxy ábhair leathsheoltóra eile cosúil le GaAs, InP, etc.

Úsáideann VET Energy graifít ardíonachta le sciath CVD-SiC chun cobhsaíocht cheimiceach a fheabhsú:

Na buntáistí a bhaineann le Suí Bairille Epitaxial Epi Graphite VET Energy:

-Cobhsaíocht teocht ard;
-Dea-aonfhoirmeacht theirmeach;
-An féidir foshraitheanna iolracha a phróiseáil ag an am céanna, feabhas a chur ar éifeachtúlacht táirgthe;
-Támh go ceimiceach, timpeallacht fáis ard-íonachta a chothabháil.