TaC Coated Susceptor foar Epitaksy Equipment

Koarte beskriuwing:

VET leveret spesjalisearre tantaalcarbid (TaC) coatings foar ferskate komponinten en dragers. VET's liedende coatingproses makket tantaalkarbid (TaC) coatings mooglik om hege suverens, hege temperatuerstabiliteit en hege gemyske tolerânsje te berikken, produktkwaliteit fan SIC / GAN-kristallen en EPI-lagen te ferbetterjen, en it libben fan wichtige reaktorkomponinten te ferlingjen. It brûken fan tantaal carbid TaC coating is te lossen de râne probleem en ferbetterjen fan de kwaliteit fan kristal groei, en VET hat trochbraak oplost de tantaal carbide coating technology (CVD), it berikken fan de ynternasjonale avansearre nivo.


Produkt Detail

Produkt Tags

TaC coatedsubstraat is in tinne film makke fantantaalkarbidmateriaal, dat wurdt tapast oan it oerflak fan it substraat fan epitaxial apparatuer.TaC coatinghat in protte treflike eigenskippen, wêrtroch't it in ideale kar is.

TaC coating is in soarte fan tantaal carbide (TaC) coating taret troch fysike damp deposition technology, it hat de folgjende skaaimerken:

1. Hege hurdens: TaC coating hurdens is heech, meastal kin berikke 2500-3000HV, is in poerbêste hurde coating.

2. Wear ferset: TaC coating is tige wear-resistant, dat kin effektyf ferminderjen de wearze en skea fan meganyske dielen yn gebrûk.

3. Goede hege temperatuer ferset: TaC coating kin ek behâlde syn treflike prestaasjes ûnder hege temperatuer omjouwing.

4. Goede gemyske stabiliteit: TaC coating hat goede gemyske stabiliteit en kin wjerstean in protte gemyske reaksjes, lykas soeren en basen.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fysike eigenskippen fan TaC coating

密度/ Tichtheid

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spesifike emissivity

0.3

热膨胀系数 / Termyske útwreiding koeffisient

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Hardheid (HK)

2000 HK

电阻 / Ferset

1×10-5 om*cm

热稳定性 / Termyske stabiliteit

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Graphite grutte feroarings

-10~-20um

涂层厚度 / Coating dikte

≥20um typyske wearde (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is in hege-tech ûndernimming dy't rjochtet op de produksje en ferkeap fan hege-ein avansearre materialen, de materialen en technology covering grafyt, silisium carbide, keramyk, oerflak behanneling ensafuorthinne. De produkten wurde in protte brûkt yn fotovoltaïsche, semiconductor, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.

Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!