SiC Coating / Coated Graphite Substrate / Tray foar Semiconductor

Koarte beskriuwing:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor foar Epitaxial Growth is in produkt mei hege prestaasjes ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmte ferset en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazje ferset, wêrtroch't it de perfekte oplossing foar wafer ferwurkjen applikaasjes.


Produkt Detail

Produkt Tags

SiC coating / coated fan Graphite susceptor foar Semiconductor
 
DeSiC Coated Graphite Substraatis in tige duorsume en effisjinte oplossing ûntworpen om te foldwaan oan 'e strange easken fan' e semiconductor ferwurkjen yndustry. Mei in laach fan hege suverenssilisiumkarbid (SiC) coatingDit substraat leveret útsûnderlike termyske stabiliteit, oksidaasjebestriding en langere libbensdoer, wêrtroch it ideaal is foar applikaasjes yn MOCVD-prosessen, grafytwaferdragers en oare omjouwings mei hege temperatueren.

 Funksjes: 
· Excellent Thermal Shock Resistance
· Excellent Physical Shock Resistance
· Excellent Chemical Resistance
· Super hege suverens
· Beskikberens yn komplekse foarm
· Brûkber ûnder oksidearjende atmosfear

Oanfraach:

3

Produkteigenskippen en foardielen:

1. Superior Thermal Resistance:Mei in hege suverensSiC coating, it substraat wjerstean ekstreme temperatueren, en soarget foar konsekwinte prestaasjes yn easken omjouwings lykas epitaksy en semiconductor fabrication.

2. Ferbettere duorsumens:De SiC-coated grafytkomponinten binne ûntworpen om gemyske korrosje en oksidaasje te wjerstean, wêrtroch't de lifespan fan it substraat fergruttet yn ferliking mei standert grafytsubstraten.

3. Vitreous Coated Graphite:De unike vitreous struktuer fan deSiC coatingjout poerbêst oerflak hurdens, minimalisearje wear en tear by hege-temperatuer ferwurking.

4. High Purity SiC Coating:Us substraat soarget foar minimale fersmoarging yn gefoelige semiconductorprosessen, en biedt betrouberens foar yndustry dy't strikte materiaalsuverens fereaskje.

5. Wide Market Application:DeSiC coated grafyt susceptormerk bliuwt groeie as fraach nei avansearre SiC-coated produkten yn semiconductor fabrikaazje tanimt, posysjoneart dit substraat as in wichtige spiler yn sawol de grafyt wafer carrier merk as de silisiumcarbid coated grafyt trays merk.

Typyske eigenskippen fan basis grafytmateriaal:

Skynbere tichtens: 1,85 g/cm3
Elektryske wjerstân: 11 μΩm
Flexural Stenth: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hurdens: 58
Jiske: <5ppm
Thermyske konduktiviteit: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating

性质 / Eigenskip

典型数值 / Typyske wearde

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tichtheid

3,21 g/cm³

硬度 / hurdens

2500 维氏硬度(500g lading)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99,99995%

热容 / Heat Kapasiteit

640 j kg-1·K-1

升华温度 / Sublimaasjetemperatuer

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃

导热系数 / Thermyske konduktiviteit

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ensfh.

Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker meitsje kin en minder gefoelich foar losmeitsjen.

Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!