RTP / RTA SiC Coating Carrier foar MOCVD Epitaxial Growth

Koarte beskriuwing:

VET Energy RTP / RTA SiC Coating Carrier is in produkt mei hege prestaasjes ûntworpen om konsekwinte en betroubere prestaasjes te leverjen oer in langere perioade. It hat super goede waarmte ferset en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazje ferset, wêrtroch't it de perfekte oplossing foar wafer ferwurkjen applikaasjes.


  • Plak fan oarsprong:Sina
  • Kristal struktuer:FCCβ faze
  • Density:3,21 g/cm
  • Hardheid:2500 Wike
  • Korrelgrutte:2~10μm
  • Gemyske suverens:99,99995%
  • Heat Kapasiteit:640J·kg-1·K-1
  • Sublimaasjetemperatuer:2700 ℃
  • Felexural Strength:415 Mpa (RT 4-punt)
  • Young's Modulus:430 Gpa (4pt bocht, 1300 ℃)
  • Termyske útwreiding (CTE):4.5 10-6K-1
  • Thermyske konduktiviteit:300 (W/MK)
  • Produkt Detail

    Produkt Tags

    SiC Coating Carrier Foar RTP / RTA is in wichtige komponint brûkt yn de semiconductor manufacturing prosessen neamd Rapid Thermal Processing & Annealing, wy brûke ús patintearre technology om de silisium carbid drager mei ekstreem hege suverens, goede coating uniformiteit en in poerbêste libbensdoer, lykas lykas hege gemyske ferset en termyske stabiliteit eigenskippen.

    Eigenskippen fan ús produkten:

    1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700 ℃.
    2. Hege suverens en thermyske uniformiteit
    3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.

    4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
    5. Langere libbensdoer en duorsumer

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating

    性质 / Eigenskip

    典型数值 / Typyske Wearde

    晶体结构 / Crystal Struktuer

    FCC β faze多晶,主要为(111)取向

    密度 / Tichtheid

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hurdens

    2500 维氏硬度(500g lading)

    晶粒大小 / Grain Grutte

    2~10μm

    纯度 / Chemical Purity

    99,99995%

    热容 / Heat Kapasiteit

    640 j kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimation Temperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Flexural Strength

    415 MPa RT 4-punt

    杨氏模量 / Jongens Modulus

    430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalConductivity

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ensfh.

    Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

    Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker meitsje kin en minder gefoelich foar losmeitsjen.

    Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Foarige:
  • Folgjende:

  • WhatsApp Online Chat!