SiC coating kin wurde taret troch gemyske damp deposition (CVD), precursor transformaasje, plasma spuiten, ensfh De coating taret troch CHEMICAL damp deposition is unifoarm en kompakt, en hat goede designability. It brûken fan methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) as silisium boarne, SiC coating tariede ...
Lês mear