De AvansearreSiC Cantilever Paddlefoar Wafer Processing makke troch vet-china biedt in poerbêste oplossing foar semiconductor manufacturing. Dit cantilever paddle is makke fan SiC (silicium carbid) materiaal, en syn hege hurdens en waarmte ferset meitsje it mooglik om te behâlden poerbêst prestaasje yn hege temperatuer en corrosive omjouwings. It ûntwerp fan 'e Cantilever Paddle lit de wafel betrouber wurde stipe by it ferwurkjen, wêrtroch it risiko fan fragmintaasje en skea ferminderet.
SiC Cantilever Paddleis in spesjalisearre komponint brûkt yn semiconductor manufacturing apparatuer lykas oksidaasje oven, diffusion oven, en annealing oven, it wichtichste gebrûk is foar wafer laden en lossen, stipet en ferfiert wafers tidens hege-temperatuer prosessen.
Mienskiplike struktuerenfanSiCcantileverpaddle: in cantilever-struktuer, fêst oan 'e iene ein en frij oan' e oare, hat typysk in plat en paddle-like ûntwerp.
VET Energy brûkt herkristallisearre silisiumkarbidmaterialen mei hege suverens om de kwaliteit te garandearjen.
| Fysike eigenskippen fan herkristallisearre silisiumkarbid | |
| Besit | Typyske wearde |
| Wurktemperatuer (°C) | 1600 ° C (mei soerstof), 1700 ° C (ferminderende omjouwing) |
| SiC ynhâld | > 99,96% |
| Fergees Si ynhâld | < 0.1% |
| Bulk tichtens | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbere porositeit | < 16% |
| Kompresjesterkte | > 600MPa |
| Kâlde bûgen sterkte | 80-90 MPa (20 °C) |
| Hot bûgen sterkte | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Termyske útwreiding @ 1500 ° C | 4,70 10-6/°C |
| Thermyske konduktiviteit @1200 °C | 23W/m•K |
| Elastyske modulus | 240 GPa |
| Thermal shock ferset | Ekstreem goed |
De foardielen fan VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle foar waferferwurking binne:
-Stabiliteit fan hege temperatuer: brûkber yn omjouwings boppe 1600 ° C;
-Low termyske útwreidingskoëffisjint: ûnderhâldt dimensionale stabiliteit, ferminderjen wafer warpage risiko;
-Hege suverens: legere risiko fan metalen fersmoarging;
-Chemical inertness: corrosie-resistant, geskikt foar ferskate gas omjouwings;
-High sterkte en hurdens: Wear-resistant, lange libbensdoer;
-Goede termyske konduktiviteit: helpt by unifoarme waferferwaarming.
