Grafiittikantaja PECVD-prosessiin

Grafiitin kantaja PECVD-prosessia varten Suositeltu kuva

Lyhyt kuvaus:

Ammatillinen koulutusPECVD Graphite Boat for Solar Panel on edistynyt komponentti, joka on suunniteltu erityisesti korkean suorituskyvyn aurinkopaneelien tuotantoon. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -prosesseissa käytetty grafiittivene varmistaa optimaalisen materiaalinkäsittelyn ja ohuiden kalvojen tasaisen kerrostumisen aurinkokennoille. Suunniteltu tarkkuuteen ja kestävyyteen, se tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden, korkean korroosionkestävyyden ja minimaalisen saastumisen, mikä on välttämätöntä tehokkaiden ja laadukkaiden aurinkopaneelien tuotannossa.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Ammatillinen koulutusPECVD-prosessigrafiitin kantaja on korkealaatuinen kulutustarvike, joka on räätälöity PECVD-prosessiin (plasma tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus). Tämä grafiittiteline on valmistettu erittäin puhtaasta, tiheästä grafiittimateriaalista, jolla on erinomainen korkean lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, mittastabiilisuus ja muut ominaisuudet, ja se voi tarjota vakaan alustan PECVD-prosessille varmistaakseen ohuen kalvon tasaisuuden ja tasaisuuden. laskeuma.

PECVD-prosessin grafiittikannoilla on seuraavat ominaisuudet:

▪ Korkea puhtaus: erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, välttää kalvon kontaminaatiota ja varmistaa kalvon laadun.

▪ Suuri tiheys: suuri tiheys, korkea mekaaninen lujuus, kestää korkeaa lämpötilaa ja korkeaa painetta PECVD-ympäristössä.

▪ Hyvä mittapysyvyys: pieni mittamuutos korkeassa lämpötilassa, mikä varmistaa prosessin vakauden.

▪ Erinomainen lämmönjohtavuus: siirtää lämpöä tehokkaasti estääkseen kiekkojen ylikuumenemisen.

▪ Vahva korroosionkestävyys: kestää eri syövyttävien kaasujen ja plasman aiheuttamaa eroosiota.

▪ Räätälöity palvelu: erikokoisia ja -muotoisia grafiittitelineitä voidaan räätälöidä asiakkaan tarpeiden mukaan.

SGL:n grafiittimateriaali:

Tyypillinen parametri: R6510
Indeksi	Testistandardi	Arvo	Yksikkö
Keskimääräinen raekoko	ISO 13320	10	μm
Bulkkitiheys	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Avohuokoisuus	DIN66133	10	%
Keskikokoinen huokoskoko	DIN66133	1.8	μm
Läpäisevyys	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-kovuus HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Sähköinen ominaisvastus	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Taivutusvoima	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Puristusvoima	DIN 51910	130	MPa
Youngin moduuli	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Lämpölaajeneminen (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Lämmönjohtavuus (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Se on erityisesti suunniteltu tehokkaaseen aurinkokennojen valmistukseen, ja se tukee suurikokoisten G12-kiekkojen käsittelyä. Optimoitu kannatinrakenne lisää merkittävästi suorituskykyä, mikä mahdollistaa suuremmat tuottoasteet ja alhaisemmat tuotantokustannukset.

Tuote	Tyyppi	Numerokiekon kantaja
PEVCD Grephite -vene - 156-sarja	156-13 grefiittivene	144
	156-19 grefiittivene	216
	156-21 grefiittivene	240
	156-23 grafiittivene	308
PEVCD Grephite -vene - 125-sarja	125-15 grefiittivene	196
	125-19 grefiittivene	252
	125-21 grphite vene	280