CVD piikarbidilla päällystetty grafiittirengas

Lyhyt kuvaus:

VET Energy piikarbidilla päällystetty grafiittirengas on korkean suorituskyvyn tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn pitkän ajan.Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja lämpötasaisuus, korkea puhtaus, eroosionkestävyys, joten se on täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

Pohjagrafiittimateriaalin tyypilliset ominaisuudet:

Näennäinen tiheys:	1,85 g/cm3
Sähkövastus:	11 μΩm
Taivutuslujuus:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore-kovuus:	58
Tuhka:	<5 ppm
Lämmönjohtokyky:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Toimitamme erilaisia suskeptoreita ja grafiittikomponentteja kaikkiin nykyisiin epitaksireaktoreihin.Tuotteitamme ovat tynnyrisuskeptorit LPE-yksiköille, pannukakkususkeptorit LPE-, CSD- ja Gemini-yksiköille sekä yksikiekkosuskeptorit applikoituihin ja ASM-yksiköihin.

Yhdistämällä vahvat kumppanuudet johtavien OEM-valmistajien kanssa, materiaaliosaamisen ja valmistusosaamisen, vet tarjoaa optimaalisen suunnittelun sovelluksellesi.

VET Energy on thetodellinen räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden valmistaja CVD-pinnoitteella,voi toimittaaeriräätälöidyt osat puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle. OTekninen tiimimme tulee parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista, ja se voi tarjota ammattimaisempia materiaaliratkaisujasinulle.

Ftuotteidemme ominaisuudet:

1. Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys jopa 1700℃.
2. Korkea puhtaus jalämpötasaisuus
3. Erinomainen korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
4. Korkea kovuus, kompakti pinta, hienojakoisia hiukkasia.
5. Pidempi käyttöikä ja kestävämpi

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC:n fysikaaliset perusominaisuudetpinnoite
性质 / Omaisuus	典型数值 / Tyypillinen arvo
晶体结构 / Crystal Structure	FCC p-vaihe多晶，主要为（111）取向
密度 / Tiheys	3,21 g/cm³
硬度 / Kovuus	2500 维氏硬度 (500 g kuorma)
晶粒大小 / Jyvän koko	2-10 μm
纯度 / Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
热容 / Lämpökapasiteetti	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaatiolämpötila	2700 ℃
抗弯强度 / Taivutusvoima	415 MPa RT 4-piste
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJohtavuus	300 W · m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1