بخاری زیرلایه MOCVDعناصر گرمایش برای MOCVD،
بخاری گرافیتی, نیمه هادی گرافیت, بخاری, بخاری زیرلایه MOCVD,
بخاری بستر MOCVD، عناصر گرمایشی برای MOCVD
گرافیتبخاری:
اینبخاری گرافیتیقطعات در کوره با دمای بالا با دمای 2200 درجه در محیط خلاء و 3000 درجه در محیط گاز زدایی شده و گاز وارد شده استفاده می شود.
ویژگی های اصلی گرافیتبخاری:
1. یکنواختی ساختار گرمایش.
2. هدایت الکتریکی خوب و بار الکتریکی بالا.
3. مقاومت در برابر خوردگی.
4. غیر اکسیدی بودن
5. خلوص شیمیایی بالا.
6. مقاومت مکانیکی بالا.
مزیت کارآمد انرژی، ارزش بالا و نگهداری کم است.
ما می توانیم بوته گرافیتی ضد اکسیداسیون و طول عمر طولانی، قالب گرافیت و تمام قسمت های بخاری گرافیت تولید کنیم.
پارامترهای اصلی بخاری گرافیت:
مشخصات فنی | VET-M3 |
چگالی حجمی (g/cm3) | ≥1.85 |
محتوای خاکستر (PPM) | ≤500 |
سختی ساحل | ≥45 |
مقاومت ویژه (μ.Ω.m) | ≤12 |
قدرت خمشی (Mpa) | ≥40 |
مقاومت فشاری (Mpa) | ≥70 |
حداکثر اندازه دانه (μm) | ≤43 |
ضریب انبساط حرارتی Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
بخاری گرافیت برای کوره الکتریکی دارای خواص مقاومت در برابر حرارت، مقاومت در برابر اکسیداسیون، هدایت الکتریکی خوب و شدت مکانیکی بهتر است. ما می توانیم انواع بخاری گرافیتی را با توجه به طرح های مشتریان ماشین کنیم.