گیرنده صفحه با پوشش CVD TaC

توضیحات کوتاه:

گیرنده صفحه روکش دار VET Energy CVD TaC محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است. دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا، مقاومت در برابر فرسایش است که آن را به راه حل عالی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

اینCVD TaC روکش شدهPlate Susceptor از vet-china برای عملکرد بالا در فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی (CVD) مهندسی شده است. این سوسپتور از ویژگی های قوی برخوردار استپوشش TaC (کاربید تانتالوم).با ارائه پایداری حرارتی استثنایی، مقاومت شیمیایی و دوام، آن را به یک راه حل ایده آل برای ساخت نیمه هادی ها و کاربردهای در دمای بالا تبدیل می کند. اینپوشش CVD TaCمقاومت عالی در برابر اکسیداسیون و سایش را تضمین می کند و به گیرنده اجازه می دهد یکپارچگی و عملکرد خود را در محیط های سخت حفظ کند.

دامپزشکی چینCVD TaC روکش شدهPlate Susceptor به دلیل توانایی خود در توزیع یکنواخت گرما در طول فرآیندهای CVD، تضمین رسوب دقیق لایه و افزایش کارایی ساخت نیمه هادی برجسته است. پوشش Ta-C محافظت بیشتری در برابر خوردگی شیمیایی ایجاد می کند، طول عمر سوسپتور را افزایش می دهد و عملکرد کلی را بهبود می بخشد. با ترکیبی از فن‌آوری پیشرفته CVD susceptor و پوشش‌های شیمیایی TaC با کیفیت بالا، این susceptor یک جزء کلیدی برای صنایعی است که به دقت و قابلیت اطمینان در محیط‌های با دمای بالا نیاز دارند.

چه در تولید نیمه هادی ها یا سایر برنامه های کاربردی با تکنولوژی بالا استفاده شود،گیرنده صفحه با پوشش CVD TaCبرای پاسخگویی به نیازهای تولید مدرن طراحی شده است. این محصول با پشتوانه شهرت Semicera برای نوآوری و کیفیت، عملکرد عالی و دوام طولانی مدت را ارائه می دهد و آن را به یک انتخاب قابل اعتماد برای فرآیندهای CVD تبدیل می کند.

پوشش TaC نوعی پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) است که توسط فناوری رسوب بخار فیزیکی تهیه شده است، دارای ویژگی های زیر است:

1. سختی بالا: سختی پوشش TaC بالا است، معمولا می تواند به 2500-3000HV برسد، یک پوشش سخت عالی است.

2. مقاومت در برابر سایش: پوشش TaC بسیار مقاوم در برابر سایش است که می تواند به طور موثر سایش و آسیب قطعات مکانیکی را در حین استفاده کاهش دهد.

3. مقاومت خوب در دمای بالا: پوشش TaC همچنین می تواند عملکرد عالی خود را در محیط دمای بالا حفظ کند.

4. پایداری شیمیایی خوب: پوشش TaC پایداری شیمیایی خوبی دارد و می تواند در برابر بسیاری از واکنش های شیمیایی مانند اسیدها و بازها مقاومت کند.

پوشش TaC13
پوشش TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

خواص فیزیکی از TaC پوشش

密度/ تراکم

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / انتشار ویژه

0.3

热膨胀系数 / ضریب انبساط حرارتی

6.3 10-6/K

努氏硬度/ سختی (HK)

2000 هنگ کنگ

电阻 / مقاومت

1×10-5 اهم * سانتی متر

热稳定性 / پایداری حرارتی

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / اندازه گرافیت تغییر می کند

-10-20 میلی متر

涂层厚度 / ضخامت پوشش

مقدار معمولی ≥20um (10±35um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd یک شرکت با فناوری پیشرفته است که بر تولید و فروش مواد پیشرفته پیشرفته، مواد و فناوری پوشش گرافیت، کاربید سیلیکون، سرامیک، تصفیه سطح و غیره تمرکز دارد. محصولات به طور گسترده ای در فتوولتائیک، نیمه هادی، انرژی نو، متالورژی و غیره استفاده می شود.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی آمده است، می تواند راه حل های مواد حرفه ای تری را برای شما ارائه دهد.

به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس اپ!