ویژگی های محصول
· عالی درجه حرارت بالا عملکرد
پوشش PyC دارای ویژگی های ساختار متراکم، مقاومت در برابر حرارت عالی، هدایت حرارتی خوب و مقاومت در برابر سایش است. از آنجایی که هر دو عنصر کربنی هستند، چسبندگی قوی با گرافیت دارد و می تواند مواد فرار باقیمانده را در داخل گرافیت ببندد تا از آلودگی ذرات کربن جلوگیری کند.
· قابل کنترل خلوص
خلوص پوشش PyC می تواند به سطح 5ppm برسد، که نیازهای خلوص لایه برداری با خلوص بالا را برآورده می کند.
· تمدید شد خدمات زندگی و بهبود یافته است محصول qیکنواختی
پوشش PyC می تواند به طور موثر طول عمر اجزای گرافیتی را افزایش دهد و کیفیت محصول را بهبود بخشد و در نتیجه به طور موثر هزینه های تولید مشتری را کاهش دهد.
·عریض محدوده of برنامه های کاربردی
پوشش PyC عمدتا در زمینه های با دمای بالا مانند رشد کریستال نیمه هادی Si/SiC، کاشت یون، ذوب فلز برای نیمه هادی ها و تجزیه و تحلیل ابزار استفاده می شود.
محصول مشخصات
عملکرد معمولی | واحد | مشخصات |
ساختار کریستالی | شش ضلعی | |
تراز | جهت یا بدون جهت در جهت 0001 | |
چگالی حجیم | g/cm³ | -2.24 |
ریزساختار | گرافن پلی کریستالی/چند لایه | |
سختی | GPa | 1.1 |
مدول الاستیک | GPa | 10 |
ضخامت معمولی | میکرومتر | 30-100 |
زبری سطح | میکرومتر | 1.5 |
خلوص محصول | ppm | ≤5ppm |