پیشرفتهدست و پا زدن SiC Cantileverبرای پردازش ویفر ایجاد شده توسط vet-china یک راه حل عالی برای تولید نیمه هادی ها ارائه می دهد. این دست و پا زدن از مواد SiC (کاربید سیلیکون) ساخته شده است و سختی و مقاومت حرارتی بالا آن را قادر می سازد عملکرد عالی را در دمای بالا و محیط های خورنده حفظ کند. طراحی Cantilever Paddle به ویفر اجازه می دهد تا در طول پردازش به طور قابل اعتمادی پشتیبانی شود و خطر تکه تکه شدن و آسیب را کاهش دهد.
دست و پا زدن SiC Cantileverیک جزء تخصصی است که در تجهیزات تولید نیمه هادی مانند کوره اکسیداسیون، کوره انتشار و کوره بازپخت استفاده می شود، کاربرد اصلی آن برای بارگیری و تخلیه ویفر است، ویفرها را در طی فرآیندهای با دمای بالا پشتیبانی و حمل می کند.
ساختارهای مشترکازSiCcضد اهرمpادل کردن: یک ساختار کنسولی که در یک انتها ثابت و در انتهای دیگر آزاد است، معمولاً دارای طرحی صاف و پارو مانند است.
VET Energy از مواد کاربید سیلیسیم تبلور مجدد با خلوص بالا برای تضمین کیفیت استفاده می کند.
| خواص فیزیکی کاربید سیلیسیم تبلور مجدد | |
| اموال | ارزش معمولی |
| دمای کاری (درجه سانتیگراد) | 1600 درجه سانتی گراد (با اکسیژن)، 1700 درجه سانتی گراد (محیط کاهنده) |
| محتوای SiC | > 99.96٪ |
| محتوای Si رایگان | < 0.1٪ |
| چگالی ظاهری | 2.60-2.70 گرم در سانتی متر3 |
| تخلخل ظاهری | < 16% |
| قدرت فشار | > 600MPa |
| قدرت خمش سرد | 80-90 مگاپاسکال (20 درجه سانتیگراد) |
| قدرت خمش گرم | 90-100 مگاپاسکال (1400 درجه سانتیگراد) |
| انبساط حرارتی @1500 درجه سانتیگراد | 4.70 10-6/ درجه سانتیگراد |
| هدایت حرارتی @1200 درجه سانتیگراد | 23W/m•K |
| مدول الاستیک | 240 گیگا پاسکال |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوق العاده خوب |
مزایای پدل پیشرفته SiC Cantilever VET Energy برای پردازش ویفر عبارتند از:
-پایداری دمای بالا: قابل استفاده در محیط های بالاتر از 1600 درجه سانتیگراد.
-ضریب انبساط حرارتی کم: پایداری ابعادی را حفظ می کند و خطر تاب خوردگی ویفر را کاهش می دهد.
خلوص بالا: خطر کمتر آلودگی فلزی.
بی اثری شیمیایی: مقاوم در برابر خوردگی، مناسب برای محیط های مختلف گازی.
-استحکام و سختی بالا: مقاوم در برابر سایش، عمر طولانی.
هدایت حرارتی خوب: به گرم شدن یکنواخت ویفر کمک می کند.
