Silizio-karburoa (SiC) oblea epitaxiala

Silizio-karburoa (SiC) oblea epitaxialeko irudia

Deskribapen laburra:

Silizio Karburoa (SiC) Epitaxial Wafer VET Energy-ren errendimendu handiko substratua da hurrengo belaunaldiko potentzia eta RF gailuen eskakizun zorrotzak asetzeko diseinatuta. VET Energy-k ostia epitaxial bakoitza zorrotz fabrikatzen dela ziurtatzen du eroankortasun termikoa, matxura-tentsioa eta garraiolarien mugikortasuna eskaintzeko, ibilgailu elektrikoak, 5G komunikazioa eta eraginkortasun handiko potentzia elektronika bezalako aplikazioetarako aproposa da.

Bidali mezu elektronikoa Deskargatu PDF moduan

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

VET Energy silizio karburoa (SiC) ostia epitaxiala errendimendu handiko banda zabaleko material erdieroalea da, tenperatura altuko erresistentzia, maiztasun handiko eta potentzia handiko ezaugarriak dituena. Substratu ezin hobea da potentziako gailu elektronikoen belaunaldi berrietarako. VET Energyk MOCVD epitaxial teknologia aurreratua erabiltzen du SiC substratuetan kalitate handiko SiC epitaxia geruza hazteko, oblearen errendimendu eta koherentzia bikaina bermatuz.

Gure Silizio Karburoa (SiC) Epitaxial Wafer-ek bateragarritasun bikaina eskaintzen du hainbat material erdieroalerekin, besteak beste, Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer eta SiN Substrate. Bere geruza epitaxial sendoarekin, prozesu aurreratuak onartzen ditu, hala nola Epi Wafer hazkundea eta Galio oxidoa Ga2O3 eta AlN Wafer bezalako materialekin integratzea, teknologia ezberdinetan erabilera anitzekoa bermatuz. Industria-estandar kasetak maneiatzeko sistemekin bateragarria izateko diseinatua, erdieroaleen fabrikazio-inguruneetan eragiketa eraginkorrak eta errazak bermatzen ditu.

VET Energy-ren produktu-lerroa ez da SiC epitaxial obleetara mugatzen. Substratu erdieroaleen material sorta zabala ere eskaintzen dugu, besteak beste, Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etab. Horrez gain, banda zabaleko material erdieroale berriak ere aktiboki garatzen ari gara, hala nola Galio oxidoa Ga2O3 eta AlN. Wafer, etorkizuneko potentzia elektronikaren industriak errendimendu handiagoko gailuen eskaerari erantzuteko.

OTILA-ZEHAZTAPENAK

*n-Pm=n motako Pm-kalifikazioa, n-Ps=n motako Ps-maila, Sl=erdi isolatzailea

Elementua	8-inch	6-inch			4-Hazbete
Elementua	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
TTV (GBIR)	≤6um	≤6um
Branka (GF3YFCD)-Balio absolutua	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp (GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV (SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Ostia Ertza	Alakatuz

AZALERAKO AKABERA

*n-Pm=n motako Pm-kalifikazioa, n-Ps=n motako Ps-maila, Sl=erdi isolatzailea

Elementua	8-inch	6-inch			4-Hazbete
	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
Azalera akabera	Alde bikoitzeko polanidura optikoa, Si- Face CMP
AzaleraZurtasuna	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0,5 nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm
Ertz Txipak	Ez dago onartzen (luzera eta zabalera ≥0,5 mm)
Koskak	Ez dago baimenduta
Marradurak (Si-Face)	Kopurua ≤5, metatua Length≤0,5 × oblearen diametroa	Kopurua ≤5, metatua Length≤0,5 × oblearen diametroa			Kopurua ≤5, metatua Length≤0,5 × oblearen diametroa
Pitzadurak	Ez dago baimenduta
Ertz-bazterketa	3 mm