Goian erakutsi bezala, tipikoa da
Lehen zatia:
▪ Berokuntza-elementua (berote-bobina):
labe-hodiaren inguruan kokatua, normalean erresistentzia-hariez egina, labe-hodiaren barrualdea berotzeko erabiltzen da.
▪ Kuartzozko hodia:
Oxidazio beroko labe baten muina, purutasun handiko kuartzoz egina, tenperatura altuak jasan ditzakeena eta kimikoki geldoa izaten jarraitzen duena.
▪ Gas-elikadura:
Labearen hodiaren goiko aldean edo alboan kokatuta, oxigenoa edo bestelako gasak labearen barrualdera garraiatzeko erabiltzen da.
▪ SS brida:
kuartzozko hodiak eta gas-lerroak lotzen dituzten osagaiak, konexioaren estankotasuna eta egonkortasuna bermatuz.
▪ Gasa Elikatzeko Lineak:
MFC gasa garraiatzeko gas hornidurako ataka lotzen duten hodiak.
▪ MFC (Mass-Flow Controller):
Kuartzozko hodi baten barruan gas-fluxua kontrolatzen duen gailua, behar den gas-kantitatea zehatz-mehatz erregulatzeko.
▪ Aireztapena:
Labearen hodi barrutik ekipamenduaren kanpoaldera ihes-gasa aireratzeko erabiltzen da.
Beheko zatia:
▪ Siliziozko obleak euskarrian:
Siliziozko obleak euskarri berezi batean kokatzen dira oxidazio garaian bero uniformea bermatzeko.
▪ Obleen euskarria:
Siliziozko oblea eusteko eta siliziozko oblea prozesuan zehar egonkor mantentzen dela ziurtatzeko erabiltzen da.
▪ Idulkia:
Siliziozko oblea euskarri bat eusten duen egitura, normalean tenperatura altuko material erresistente batez egina.
▪ Igogailua:
Obleak kuartzozko hodietan sartu eta ateratzeko erabiltzen da, siliziozko obleak automatikoki kargatzeko eta deskargatzeko.
▪ Ostia transferitzeko robota:
labe-hodiaren gailuaren alboan kokatuta, silizio-ostia kutxatik automatikoki kentzeko eta labe-hodian jartzeko erabiltzen da, edo prozesatu ondoren kentzeko.
▪ Kaseteak biltegiratzeko karrusela:
Kaseteak biltegiratzeko karrusela siliziozko obleak dituen kutxa bat gordetzeko erabiltzen da eta robotak sartzeko biratu daiteke.
▪ Ostia kasetea:
obleen kasetea prozesatu beharreko siliziozko obleak gordetzeko eta transferitzeko erabiltzen da.
Argitalpenaren ordua: 2024-04-22