AurreratuaSiC Cantilever Palavet-chinak sortutako Wafer Processing-ek irtenbide bikaina eskaintzen du erdieroaleen fabrikaziorako. Cantilever pala hau SiC (siliziozko karburoa) materialarekin egina dago, eta bere gogortasun eta beroarekiko erresistentzia handiak tenperatura altuetan eta ingurune korrosiboetan errendimendu bikaina mantentzea ahalbidetzen du. Cantilever Paddle-ren diseinuari esker, ostia modu fidagarrian eusten da prozesatzeko garaian, zatikatzeko eta kaltetzeko arriskua murriztuz.
SiC Cantilever PalaErdieroaleak fabrikatzeko ekipoetan erabiltzen den osagai espezializatua da, hala nola, oxidazio-labea, difusio-labea eta erretiro-labea.
Egitura komunakdeSiCcpalanka aurkakoapaddle: cantilever egitura batek, mutur batean finkatua eta librea bestean, normalean diseinu laua eta arraun itxurakoa du.
VET Energyk purutasun handiko silizio karburo birkristalizatutako materialak erabiltzen ditu kalitatea bermatzeko.
Silizio Karburo Birkristalizatuaren propietate fisikoak | |
Jabetza | Balio Tipikoa |
Laneko tenperatura (°C) | 1600 °C (oxigenoarekin), 1700 °C (ingurune murriztea) |
SiC edukia | > %99,96 |
Doako Si edukia | <% 0,1 |
Solteko dentsitatea | 2,60-2,70 g/cm3 |
Itxurazko porositatea | <% 16 |
Konpresioaren indarra | > 600MPa |
Hotza makurtzeko indarra | 80-90 MPa (20 °C) |
Makurtze-indarra beroa | 90-100 MPa (1400 °C) |
Hedapen termikoa @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Eroankortasun termikoa @1200°C | 23W/m•K |
Modulu elastikoa | 240 GPa |
Shock termikoen erresistentzia | Oso ona |
VET Energy-ren SiC Cantilever Paddle aurreratuaren abantailak hauek dira obleak prozesatzeko:
-Tenperatura handiko egonkortasuna: 1600°C-tik gorako inguruneetan erabil daiteke;
-Hedapen termikoko koefiziente baxua: dimentsio-egonkortasuna mantentzen du, obleen deformazio-arriskua murriztuz;
-Araztasun handia: metalak kutsatzeko arrisku txikiagoa;
-Inertetasun kimikoa: korrosioarekiko erresistentea, hainbat gas-ingurunetarako egokia;
-Indar eta gogortasun handia: higadura erresistentea, bizitza luzea;
-Eroankortasun termiko ona: obleak uniformeki berotzen laguntzen du.