Txinako fabrikatzailea SiC estalitako grafito MOCVD epitaxia susceptor

Txinako fabrikatzailea SiC estalitako grafitoa MOCVD epitaxia susceptor aipagarria

Deskribapen laburra:

Garbitasuna < 5ppm
‣ Dopinaren uniformetasun ona
‣ Dentsitate eta atxikimendu handia
‣ Korrosioaren aurkako eta karbonoaren erresistentzia ona

‣ Pertsonalizazio profesionala
‣ Epe laburra
‣ Hornikuntza egonkorra
‣ Kalitate kontrola eta etengabeko hobekuntza

GaN-en epitaxia zafiroan(RGB/Mini/Micro LED);
GaN-ren epitaxia Si Substratean(UVC);
GaN-ren epitaxia Si Substratean(Gailu Elektronikoa);
Si-ren epitaxia Si substratuan(Zirkuitu integratua);
SiC-ren epitaxia SiC substratuan(Sustratoa);
InP-ren epitaxia InP-en

Bidali mezu elektronikoa Deskargatu PDF moduan

Produktuaren xehetasuna

Produktuen etiketak

Kalitate handiko MOCVD Susceptor Erosi linean Txinan

Ostia batek hainbat urrats igaro behar ditu gailu elektronikoetan erabiltzeko prest egon aurretik. Prozesu garrantzitsu bat silizio epitaxia da, zeinetan obleak grafito suszeptoreetan eramaten diren. Suszeptoreen propietateek eta kalitateek eragin erabakigarria dute oblearen geruza epitaxialaren kalitatean.

Epitaxia edo MOCVD bezalako film meheen deposizio-faseetarako, VET-k substratu edo "obleak" eusteko erabiltzen diren grafito-ekipo ultrapurua hornitzen du. Prozesuaren oinarrian, ekipamendu hau, epitaxia suszeptoreak edo MOCVDrako satelite-plataformak, deposizio-ingurunearen mende jartzen dira lehenik:

Tenperatura altua.
Huts handia.
Aitzindari gaseoso oldarkorrak erabiltzea.
Zero kutsadura, peeling eza.
Garbiketa-lanetan azido indartsuekiko erresistentzia

VET Energy grafito eta silizio karburozko produktu pertsonalizatuen benetako fabrikatzailea da erdieroale eta industria fotovoltaikorako estaldurarekin. Gure talde teknikoa etxeko ikerketa-erakunde gorenetatik dator eta material profesionalagoak eman ditzake.

Material aurreratuagoak eskaintzeko prozesu aurreratuak etengabe garatzen ditugu, eta patentatutako teknologia esklusibo bat landu dugu, estalduraren eta substratuaren arteko lotura estuagoa eta askatzeko joera gutxiago izan dezakeena.

Gure produktuen ezaugarriak:

1. Tenperatura handiko oxidazio erresistentzia 1700 ℃ arte.
2. Garbitasun handia eta uniformetasun termikoa
3. Korrosioarekiko erresistentzia bikaina: azido, alkali, gatza eta erreaktibo organikoak.
4. Gogortasun handia, gainazal trinkoa, partikula finak.
5. Zerbitzu-bizitza luzeagoa eta iraunkorragoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ren oinarrizko propietate fisikoakestaldura
性质 / Jabetza	典型数值 / Balio Tipikoa
晶体结构 / Kristalezko Egitura	FCC β fasea多晶，主要为（111）取向
密度 / Dentsitatea	3,21 g/cm³
硬度 / Gogortasuna	2500 维氏硬度（500g karga）
晶粒大小 / Ale Tamaina	2~10μm
纯度 / Garbitasun kimikoa	%99,99995
热容 / Bero Ahalmena	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimazio-tenperatura	2700 ℃
抗弯强度 / Flexur Indarra	415 MPa RT 4 puntu
杨氏模量 / Gazteen Modulua	430 Gpa 4pt bihurgunea, 1300 ℃
导热系数 / ThermalEroankortasuna	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hedapen termikoa (CTE)	4,5×10^-6K^-1