TaC-kattega sustseptor epitaksiseadmete jaoks

Lühikirjeldus:

VET pakub spetsiaalseid tantaalkarbiidi (TaC) katteid erinevatele komponentidele ja kandjatele. VET-i juhtiv katmisprotsess võimaldab tantaalkarbiidi (TaC) katetel saavutada kõrge puhtuse, kõrge temperatuuri stabiilsuse ja kõrge keemilise taluvuse, parandades SIC/GAN kristallide ja EPI kihtide tootekvaliteeti ning pikendades reaktori võtmekomponentide eluiga. Tantaalkarbiidi TaC katte kasutamine on servaprobleemi lahendamiseks ja kristallide kasvu kvaliteedi parandamiseks ning VET on läbimurre lahendanud tantaalkarbiidi kattetehnoloogia (CVD), jõudes rahvusvahelisele kõrgtasemele.


Toote üksikasjad

Tootesildid

TaC kaetudsubstraat on valmistatud õhuke kiletantaalkarbiidmaterjal, mis kantakse epitaksiaalseadmete substraadi pinnale.TaC kateon palju suurepäraseid omadusi, mistõttu on see ideaalne valik.

TaC-kate on teatud tüüpi tantaalkarbiidist (TaC) kate, mis on valmistatud füüsilise aurustamise-sadestamise tehnoloogia abil ja millel on järgmised omadused:

1. Kõrge kõvadus: TaC katte kõvadus on kõrge, tavaliselt võib see ulatuda 2500-3000 HV, on suurepärane kõva kate.

2. Kulumiskindlus: TaC kate on väga kulumiskindel, mis võib tõhusalt vähendada mehaaniliste osade kulumist ja kahjustusi kasutamise ajal.

3. Hea vastupidavus kõrgele temperatuurile: TaC kate võib säilitada oma suurepärase jõudluse ka kõrge temperatuuriga keskkonnas.

4. Hea keemiline stabiilsus: TaC-kattel on hea keemiline stabiilsus ja see võib vastu pidada paljudele keemilistele reaktsioonidele, nagu happed ja alused.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Füüsikalised omadused TaC katmine

密度/ Tihedus

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Eriemissioon

0.3

热膨胀系数 / Soojuspaisumise koefitsient

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Kõvadus (HK)

2000 HK

电阻 / Vastupanu

1 × 10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Termiline stabiilsus

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Grafiidi suurus muutub

-10-20 um

涂层厚度 / Katte paksus

≥20um tüüpiline väärtus (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on kõrgtehnoloogiline ettevõte, mis keskendub tipptasemel kõrgtehnoloogiliste materjalide, materjalide ja tehnoloogia, mis hõlmab grafiiti, ränikarbiidi, keraamikat, pinnatöötlust ja nii edasi, tootmisele ja müügile. Tooteid kasutatakse laialdaselt fotogalvaanilises, pooljuhtides, uues energias, metallurgias jne.

Meie tehniline meeskond pärineb parimatest kodumaistest teadusasutustest ja suudab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.

Tere tulemast meie tehast külastama, arutame edasi!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • WhatsAppi veebivestlus!