VET Energy monokristalliline 8-tolline ränivahvel on tööstusharu juhtiv lahendus pooljuhtide ja elektroonikaseadmete valmistamiseks. Suurepärase puhtuse ja kristalse struktuuriga vahvlid sobivad ideaalselt suure jõudlusega rakendusteks nii fotogalvaanilises kui ka pooljuhtide tööstuses. VET Energy tagab, et iga vahvlit töödeldakse hoolikalt, et see vastaks kõrgeimatele standarditele, tagades suurepärase ühtluse ja sileda pinnaviimistluse, mis on täiustatud elektroonikaseadmete tootmiseks hädavajalikud.
Need monokristallilised 8-tollised ränivahvlid ühilduvad paljude materjalidega, sealhulgas Si Wafer, SiC substraat, SOI Wafer, SiN substrate ja sobivad eriti hästi Epi Waferi kasvatamiseks. Nende suurepärane soojusjuhtivus ja elektrilised omadused muudavad need usaldusväärseks valikuks tõhusaks tootmiseks. Lisaks on need vahvlid loodud töötama sujuvalt selliste materjalidega nagu galliumoksiid Ga2O3 ja AlN Wafer, pakkudes laia valikut rakendusi jõuelektroonikast RF-seadmeteni. Vahvlid sobivad suurepäraselt ka suure mahuga automatiseeritud tootmiskeskkondadesse mõeldud kassettsüsteemidesse.
VET Energy tootesari ei piirdu ainult räniplaatidega. Pakume ka laia valikut pooljuhtsubstraadi materjale, sealhulgas SiC substraat, SOI Wafer, SiN substrate, Epi Wafer jne, samuti uusi laia ribalaiusega pooljuhtmaterjale, nagu galliumoksiid Ga2O3 ja AlN Wafer. Need tooted vastavad erinevate klientide rakendusvajadustele jõuelektroonika, raadiosageduse, andurite ja muudes valdkondades.
VET Energy pakub klientidele kohandatud vahvlilahendusi. Saame kohandada erineva takistuse, hapnikusisalduse, paksusega jne vahvleid vastavalt klientide spetsiifilistele vajadustele. Lisaks pakume ka professionaalset tehnilist tuge ja müügijärgset teenindust, et aidata klientidel lahendada erinevaid tootmisprotsessi käigus tekkinud probleeme.
VAHVELITE SPETSIFIKATSIOONID
*n-Pm = n-tüüpi Pm-klass, n-Ps = n-tüüpi Ps-aste, Sl = poolisoleeriv
Üksus | 8-tolline | 6-tolline | 4-tolline | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 um | ≤6 um | |||
Bow(GF3YFCD)-absoluutväärtus | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Vahvli serv | Kaldus |
PINNA VIIMISTLUS
*n-Pm = n-tüüpi Pm-klass, n-Ps = n-tüüpi Ps-aste, Sl = poolisoleeriv
Üksus | 8-tolline | 6-tolline | 4-tolline | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Pinnaviimistlus | Kahepoolne optiline poleer, Si-Face CMP | ||||
Pinna karedus | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Pole lubatud (pikkus ja laius ≥0,5 mm) | ||||
Taanded | Mitte ükski Lubatud | ||||
Kriimud (Si-Face) | Kogus≤5, kumulatiivne | Kogus≤5, kumulatiivne | Kogus≤5, kumulatiivne | ||
Praod | Mitte ükski Lubatud | ||||
Serva välistamine | 3 mm |