-
SiC kate/kaetud grafiidist aluspind/alus...
-
RTP/RTA SiC kattekandja MOCVD epitaksiaalsele...
-
TaC pinnakatte juhtrõngas
-
Tantaalkarbiidkattega vahvli sustseptor
-
Tantaalkarbiidi pinnakatte juhtrõngad
-
Tantaalkarbiidist katterõngas
-
Kõrge puhtusastmega CVD tahke ränikarbiidi maht
-
Epitaksiaalne epitaksiaalne grafiittünn sustseptor
-
Poolkuu osa tantaalkarbiidkattega