Susceptor recubierto de TaC para equipos de epitaxia

Breve descripción:

VET proporciona recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes. El proceso de recubrimiento líder de VET permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, estabilidad a alta temperatura y alta tolerancia química, mejorando la calidad del producto de los cristales SIC/GAN y las capas EPI, y extendiendo la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento TaC de carburo de tantalio tiene como objetivo resolver el problema de los bordes y mejorar la calidad del crecimiento del cristal, y VET ha resuelto de manera innovadora la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando el nivel avanzado internacional.

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recubierto de TaCEl sustrato es una película delgada hecha decarburo de tantaliomaterial, que se aplica a la superficie del sustrato del equipo epitaxial.revestimiento de TaCTiene muchas propiedades excelentes, lo que lo convierte en una opción ideal.

El recubrimiento TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: La dureza del recubrimiento TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000HV, es un recubrimiento duro excelente.

2. Resistencia al desgaste: el recubrimiento TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y el daño de las piezas mecánicas durante el uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: el recubrimiento TaC también puede mantener su excelente rendimiento en ambientes de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: el recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propiedades físicas de TaC revestimiento
密度/ Densidad	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisividad específica	0.3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansión térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistencia	1×10^-5 Ohmios*cm
热稳定性 / Estabilidad térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Cambios de tamaño de grafito	-10~-20um
涂层厚度 / Espesor del revestimiento	Valor típico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd es una empresa de alta tecnología que se centra en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama, materiales y tecnología que cubren grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamiento de superficies, etc. Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

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