Barco de oblea de carburo de silicio recristalizado con revestimiento CVD

Breve descripción:

La oblea de carburo de silicio recristalizado VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento constante y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.


Detalle del producto

Etiquetas de producto

Propiedades del carburo de silicio recristalizado.

El carburo de silicio recristalizado (R-SiC) es un material de alto rendimiento con una dureza solo superada por el diamante, que se forma a una temperatura alta superior a 2000 ℃. Conserva muchas propiedades excelentes del SiC, como resistencia a altas temperaturas, fuerte resistencia a la corrosión, excelente resistencia a la oxidación, buena resistencia al choque térmico, etc.

● Excelentes propiedades mecánicas. El carburo de silicio recristalizado tiene mayor resistencia y rigidez que la fibra de carbono, alta resistencia al impacto, puede tener un buen desempeño en ambientes de temperaturas extremas y puede tener un mejor desempeño de contrapeso en una variedad de situaciones. Además, también tiene buena flexibilidad y no se daña fácilmente al estirarlo y doblarlo, lo que mejora enormemente su rendimiento.

● Alta resistencia a la corrosión. El carburo de silicio recristalizado tiene una alta resistencia a la corrosión en una variedad de medios, puede prevenir la erosión de una variedad de medios corrosivos, puede mantener sus propiedades mecánicas durante mucho tiempo y tiene una fuerte adhesión, por lo que tiene una vida útil más larga. Además, también tiene buena estabilidad térmica, puede adaptarse a un cierto rango de cambios de temperatura y mejora su efecto de aplicación.

● La sinterización no se encoge. Debido a que el proceso de sinterización no se contrae, ninguna tensión residual provocará deformación o agrietamiento del producto, y se pueden preparar piezas con formas complejas y alta precisión.

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重结晶碳化硅物理特性

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

使用温度/ Temperatura de trabajo (°C)

1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor)

Sic含量/ contenido de SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Contenido gratuito de Si

<0,1%

体积密度/densidad aparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porosidad aparente

< 16%

抗压强度/ Fuerza de compresión

> 600MPa

常温抗弯强度/Resistencia a la flexión en frío

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Resistencia a la flexión en caliente

90-100MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Expansión térmica @1500°C

4.70 10-6/°C

导热系数/Conductividad térmica a 1200°C

23W/m·K

杨氏模量/ Módulo elástico

240 GPa

抗热震性/ Resistencia al choque térmico

Extremadamente bueno

FP Energía es elfabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con revestimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yhan desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.

ECV SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 / Estructura cristalina

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10μm

纯度 / Pureza Química

99,99995%

热容 / Capacidad calorífica

640 J·kg-1·k-1

升华温度 / Temperatura de sublimación

2700 ℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT de 4 puntos

杨氏模量 / Módulo de Young

Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / TermayoConductividad

300W·m-1·k-1

热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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