El barco profesional China China Sic transporta obleas de silicio al tubo del horno de recubrimiento de difusión de alta temperatura

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ProductoDdescripción

Los Wafer Boat de carburo de silicio se utilizan ampliamente como soporte de oblea en procesos de difusión a alta temperatura.

Ventajas:

Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta conductividad térmica:equivalente al material de grafito

Alta dureza:dureza sólo superada por el diamante y el nitruro de boro

Resistencia a la corrosión:Los ácidos fuertes y los álcalis no presentan corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que la del carburo de tungsteno y la alúmina.

peso ligero:baja densidad, cerca del aluminio

Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica

Resistencia al choque térmico:puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable

Propiedades físicas del SiC

Propiedades térmicas del SiC