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ProductoDdescripción
Los Wafer Boat de carburo de silicio se utilizan ampliamente como soporte de oblea en procesos de difusión a alta temperatura.
Ventajas:
Resistencia a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃
Alta conductividad térmica:equivalente al material de grafito
Alta dureza:dureza sólo superada por el diamante y el nitruro de boro
Resistencia a la corrosión:Los ácidos fuertes y los álcalis no tienen corrosión, la resistencia a la corrosión es mejor que la del carburo de tungsteno y la alúmina.
peso ligero:baja densidad, cerca del aluminio
Sin deformación: bajo coeficiente de expansión térmica
Resistencia al choque térmico:puede soportar cambios bruscos de temperatura, resistir choques térmicos y tiene un rendimiento estable
Propiedades físicas del SiC
Propiedad | Valor | Método |
Densidad | 3,21 g/cc | Fregadero-flotador y dimensión |
Calor específico | 0,66 J/g°K | Flash láser pulsado |
Resistencia a la flexión | 450MPa560MPa | Curva de 4 puntos, curvatura de punto RT4, 1300° |
Dureza a la fractura | 2,94 MPa·m1/2 | Microindentación |
Dureza | 2800 | Vicker's, carga de 500 g. |
Módulo elástico Módulo de Young | 450 GPa430 GPa | Curva de 4 puntos, curvatura RT4 pt, 1300 °C |
Tamaño de grano | 2 – 10 micras | SEM |
Propiedades térmicas del SiC
Conductividad térmica | 250 W/m°K | Método de flash láser, RT |
Expansión Térmica (CTE) | 4,5 x 10-6 °K | Temperatura ambiente a 950 °C, dilatómetro de sílice |