silicio-karburo ceramiko tegaĵo hejtilo

Vet-ĈinioSilicia Karburo CeramikoTegaĵo estas alt-efikeca protekta tegaĵo farita el ekstreme malmola kaj eluziĝo-imunasiliciokarbido (SiC)materialo, kiu provizas bonegan kemian korodan reziston kaj alt-temperaturan stabilecon. Tiuj karakterizaĵoj estas decidaj en semikonduktaĵproduktado, doSilicia Karburo Ceramika Tegaĵoestas vaste uzata en ŝlosilaj komponantoj de semikonduktaĵaj fabrikaj ekipaĵoj.

La specifa rolo de Vet-ĈinioSilicia Karburo CeramikoTegaĵo en semikonduktaĵproduktado estas kiel sekvas:

Plibonigu ekipaĵan fortikecon:Silicia Karbura Ceramika Tegaĵo Silicia Karbura Ceramika Tegaĵo provizas bonegan surfacan protekton por semikonduktaĵaj fabrikaj ekipaĵoj kun sia ekstreme alta malmoleco kaj eluziĝorezisto. Precipe en alt-temperaturaj kaj tre korodaj procezaj medioj, kiel kemia vapordemetado (CVD) kaj plasma akvaforto, la tegaĵo povas efike malhelpi la surfacon de la ekipaĵo esti difektita de kemia erozio aŭ fizika eluziĝo, tiel signife plilongigante la funkcidaŭron de la ekipaĵo kaj reduktanta malfunkcion kaŭzitan de ofta anstataŭigo kaj riparo.

Plibonigi procezan purecon:En la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj, eta poluado povas kaŭzi produktajn difektojn. La kemia inerteco de Silicia Karbura Ceramika Tegaĵo permesas al ĝi resti stabila sub ekstremaj kondiĉoj, malhelpante la materialon liberigi partiklojn aŭ malpuraĵojn, tiel certigante la median purecon de la procezo. Ĉi tio estas precipe grava por fabrikado de paŝoj, kiuj postulas altan precizecon kaj altan purecon, kiel ekzemple PECVD kaj jon-enplantado.

Optimumigu termikan administradon:En alt-temperatura duonkondukta pretigo, kiel rapida termika prilaborado (RTP) kaj oksigenadaj procezoj, la alta varmokondukteco de Silicia Karbura Ceramika Tegaĵo ebligas uniforman temperaturdistribuon ene de la ekipaĵo. Ĉi tio helpas redukti termikan streson kaj materialan deformadon kaŭzitan de temperaturfluktuoj, tiel plibonigante la precizecon kaj konsistencon de fabrikado de produktoj.

Subtenu kompleksajn procezmediojn:En procezoj, kiuj postulas kompleksan atmosferkontrolon, kiel ICP-akvaforto kaj PSS-akvaforto-procezoj, la stabileco kaj oksigenada rezisto de Silicia Karbura Ceramika Tegaĵo certigas, ke la ekipaĵo konservu stabilan agadon en longdaŭra operacio, reduktante la riskon de materiala degradado aŭ ekipaĵo-damaĝo pro damaĝo. al mediaj ŝanĝoj.