SiC tegaĵo grafito MOCVD Wafer portantoj， Grafito Susceptors porSiC Epitaksio,
Karbono provizas susceptorojn, Grafitaj epitaksiaj susceptoroj, Grafitaj subtenaj substratoj, MOCVD-Susceptoro, SiC Epitaksio, Oblatoj-Susceptors,

Specialaj avantaĝoj de niaj SiC-tegitaj grafitaj susceptoroj inkluzivas ekstreme altan purecon, homogenan tegaĵon kaj bonegan funkcidaŭron. Ili ankaŭ havas altan kemian reziston kaj termikan stabilecpropraĵojn.

SiC-tegaĵo de Grafita substrato por Semikonduktaĵo-aplikoj produktas parton kun supera pureco kaj rezisto al oksigena atmosfero.
CVD SiC aŭ CVI SiC estas aplikata al Grafito de simplaj aŭ kompleksaj dezajnopartoj. Tegaĵo povas esti aplikata en diversaj dikecoj kaj al tre grandaj partoj.

Karakterizaĵoj:
· Bonega Termika Ŝoko Rezisto
· Bonega Fizika Ŝoka Rezisto
· Bonega Kemia Rezisto
· Super Alta Pureco
· Havebleco en Kompleksa Formo
· Uzebla sub Oksidanta Atmosfero

Apliko:

Tipaj Propraĵoj de Baza Grafita Materialo:

Karbono provizas susceptorojnkaj grafitkomponentoj por ĉiuj nunaj epitaksireaktoroj. Nia biletujo inkluzivas barelaj susceptoroj por aplikataj kaj LPE-unuoj, krespo-susceptoroj por LPE, CSD kaj Gemini-unuoj, kaj unuoblaj-susceptoroj por aplikataj kaj ASM-unuoj. Kombinante fortajn partnerecojn kun ĉefaj OEM-oj, materialaj kompetentecoj kaj fabrik-scio, SGL. proponas la optimuman dezajnon por via apliko.