Agordita SiC Tegita Barela Susceptor

Agordita SiC Tegita Barelo Susceptor Elstara Bildo

Mallonga Priskribo:

Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn, kaj ellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.

Sendu retpoŝton al ni Elŝutu kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Barelsubceptoro is a ŝlosilokomponanto uzata en diversaj semikonduktaĵaj produktadprocezoj.Ni uzas nian patentitan teknologion por fari labarelsubceptorokunekstreme alta pureco,bonategaĵounuformecokaj bonega servodaŭro, same kielalta kemia rezisto kaj termika stabileco propraĵoj.

VET Energio estas lavera fabrikisto de personigitaj grafito kaj siliciokarbido-produktoj kun CVD-tegaĵo,povas provizidiversajpersonecigitaj partoj por duonkonduktaĵo kaj fotovoltaeca industrio. Our teknika teamo venas de ĉefaj hejmaj esplorinstitucioj, povas provizi pli profesiajn materialajn solvojnpor vi.

Ni senĉese disvolvas altnivelajn procezojn por provizi pli altnivelajn materialojn,kajellaboris ekskluzivan patentitan teknologion, kiu povas fari la ligon inter la tegaĵo kaj la substrato pli streĉa kaj malpli inklina al malligo.

Faĵoj de niaj produktoj:

1. Alta temperatura oksida rezisto ĝis 1700℃.
2. Alta pureco kajtermika unuformeco
3. Bonega koroda rezisto: acida, alkala, salo kaj organikaj reakciiloj.
4. Alta malmoleco, kompakta surfaco, fajnaj eroj.
5. Pli longa serva vivo kaj pli daŭra

CVD SiC薄膜基本物理性能 Bazaj fizikaj trajtoj de CVD SiCtegaĵo
性质 / Proprieto	典型数值 / Tipa Valoro
晶体结构 / Kristala Strukturo	FCC β-fazo多晶，主要为（111）取向
密度 / Denso	3,21 g/cm³
硬度 / Malmoleco	2500 维氏硬度（500g ŝarĝo）
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Kemia Pureco	99,99995 %
热容 / Varmo Kapacito	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimiga Temperaturo	2700℃
抗弯强度 / Fleksa Forto	415 MPa RT 4-punkto
杨氏模量 / Modulo de Young	430 Gpa 4pt kurbiĝo, 1300℃
导热系数 / ThermalKondukto	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termika Vastiĝo (CTE)	4,5×10^-6K^-1