Επικαλυμμένο TaC Susceptor για Εξοπλισμό Επιταξίας

Προτεινόμενη εικόνα με επικάλυψη TaC Susceptor για εξοπλισμό Epitaxy

Σύντομη περιγραφή:

Το VET παρέχει εξειδικευμένες επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) για διάφορα εξαρτήματα και φορείς. Η κορυφαία διαδικασία επίστρωσης του VET επιτρέπει στις επικαλύψεις καρβιδίου του τανταλίου (TaC) να επιτυγχάνουν υψηλή καθαρότητα, σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλή χημική ανοχή, βελτιώνοντας την ποιότητα του προϊόντος των κρυστάλλων SIC/GAN και των στρωμάτων EPI και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των βασικών εξαρτημάτων του αντιδραστήρα. Η χρήση της επίστρωσης TaC καρβιδίου του τανταλίου είναι για την επίλυση του προβλήματος των άκρων και τη βελτίωση της ποιότητας της ανάπτυξης των κρυστάλλων, και το VET έχει επιλύσει την τεχνολογία επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου (CVD), φτάνοντας στο διεθνές προηγμένο επίπεδο.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Επικάλυψη TaCΤο υπόστρωμα είναι μια λεπτή μεμβράνη απόκαρβίδιο τανταλίουυλικό, το οποίο εφαρμόζεται στην επιφάνεια του υποστρώματος του επιταξιακού εξοπλισμού.Επικάλυψη TaCέχει πολλές εξαιρετικές ιδιότητες, καθιστώντας το ιδανική επιλογή.

Η επίστρωση TaC είναι ένα είδος επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου (TaC) που παρασκευάζεται με τεχνολογία φυσικής εναπόθεσης ατμού, έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

1. Υψηλή σκληρότητα: Η σκληρότητα επίστρωσης TaC είναι υψηλή, συνήθως μπορεί να φτάσει τα 2500-3000HV, είναι μια εξαιρετική σκληρή επίστρωση.

2. Αντοχή στη φθορά: Η επίστρωση TaC είναι πολύ ανθεκτική στη φθορά, η οποία μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τη φθορά και τη φθορά των μηχανικών μερών κατά τη χρήση.

3. Καλή αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: Η επίστρωση TaC μπορεί επίσης να διατηρήσει την άριστη απόδοσή της σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας.

4. Καλή χημική σταθερότητα: Η επίστρωση TaC έχει καλή χημική σταθερότητα και μπορεί να αντισταθεί σε πολλές χημικές αντιδράσεις, όπως οξέα και βάσεις.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Φυσικές ιδιότητες του TaC επένδυση
密度/ Πυκνότητα	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Ειδική ικανότητα εκπομπής	0.3
热膨胀系数 / Συντελεστής θερμικής διαστολής	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Σκληρότητα (HK)	2000 HK
电阻 / Αντίσταση	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Θερμική σταθερότητα	<2500℃
石墨尺寸变化 / Αλλαγές μεγέθους γραφίτη	-10~-20 μμ
涂层厚度 / Πάχος επίστρωσης	≥20um τυπική τιμή (35um±10um)

Η Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd είναι μια επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας που εστιάζει στην παραγωγή και τις πωλήσεις προηγμένων υλικών υψηλής τεχνολογίας, των υλικών και της τεχνολογίας που καλύπτουν τον γραφίτη, το καρβίδιο του πυριτίου, τα κεραμικά, την επεξεργασία επιφανειών και ούτω καθεξής. Τα προϊόντα χρησιμοποιούνται ευρέως σε φωτοβολταϊκά, ημιαγωγούς, νέα ενέργεια, μεταλλουργία κ.λπ.

Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!