Το SiC Coating Carrier Για το RTP/RTA είναι ένα βασικό συστατικό που χρησιμοποιείται στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών που ονομάζεται Rapid Thermal Processing & Annealing, χρησιμοποιούμε την πατενταρισμένη τεχνολογία μας για να φτιάξουμε τον φορέα καρβιδίου πυριτίου με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, όπως καθώς και ιδιότητες υψηλής χημικής αντοχής και θερμικής σταθερότητας.
Χαρακτηριστικά των προϊόντων μας:
1. Αντίσταση οξείδωσης υψηλής θερμοκρασίας έως 1700℃.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: αντιδραστήρια οξύ, αλκάλια, αλάτι και οργανικά.
4. Υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
5. Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και πιο ανθεκτικό
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση | |
| 性质 / Περιουσία | 典型数值 / Τυπική τιμή |
| 晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή | FCC β φάση多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Πυκνότητα | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Σκληρότητα | 2500 维氏硬度 (500 g φορτίο) |
| 晶粒大小 / Grain SiZe | 2~10μm |
| 纯度 / Χημική Καθαρότητα | 99,99995% |
| 热容 / Θερμοχωρητικότητα | 640 J·kg-1·Κ-1 |
| 升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Καμπτική αντοχή | 415 MPa RT 4 σημείων |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃ |
| 导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο | 300 W·m-1·Κ-1 |
| 热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προσαρμοσμένων προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου με διαφορετικές επικαλύψεις όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα κ.λπ., μπορεί να παρέχει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για ημιαγωγούς και φωτοβολταϊκά βιομηχανία.
Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.
Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για την παροχή πιο προηγμένων υλικών και έχουμε επεξεργαστεί μια αποκλειστική κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.
Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!
