Τα συστατικά γραφίτη υψηλής καθαρότητας είναι ζωτικής σημασίαςδιεργασιών στη βιομηχανία ημιαγωγών, LED και ηλιακής ενέργειας. Η προσφορά μας κυμαίνεται από αναλώσιμα γραφίτη για θερμές ζώνες καλλιέργειας κρυστάλλων (θερμαντήρες, υποδοχείς χωνευτηρίου, μόνωση), έως εξαρτήματα γραφίτη υψηλής ακρίβειας για εξοπλισμό επεξεργασίας πλακιδίων, όπως υποδοχείς γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου για Epitaxy ή MOCVD. Εδώ παίζει ρόλο ο εξειδικευμένος γραφίτης μας: ο ισοστατικός γραφίτης είναι θεμελιώδης για την παραγωγή σύνθετων στρωμάτων ημιαγωγών. Αυτά παράγονται στη «καυτή ζώνη» κάτω από ακραίες θερμοκρασίες κατά τη λεγόμενη διαδικασία επιταξίας ή MOCVD. Ο περιστρεφόμενος φορέας στον οποίο επικαλύπτονται οι γκοφρέτες στον αντιδραστήρα, αποτελείται από ισοστατικό γραφίτη επικαλυμμένο με καρβίδιο του πυριτίου. Μόνο αυτός ο πολύ καθαρός, ομοιογενής γραφίτης πληροί τις υψηλές απαιτήσεις στη διαδικασία επίστρωσης.
Tη βασική αρχή της επιταξιακής ανάπτυξης γκοφρέτας LED είναι: σε ένα υπόστρωμα (κυρίως ζαφείρι, SiC και Si) που θερμαίνεται σε κατάλληλη θερμοκρασία, το αέριο υλικό InGaAlP μεταφέρεται στην επιφάνεια του υποστρώματος με ελεγχόμενο τρόπο για να αναπτυχθεί ένα συγκεκριμένο μονοκρυσταλλικό φιλμ. Επί του παρόντος, η τεχνολογία ανάπτυξης της επιταξιακής γκοφρέτας LED υιοθετεί κυρίως την εναπόθεση χημικών ατμών οργανικών μετάλλων.
LED επιταξιακό υλικό υποστρώματοςαποτελεί τον ακρογωνιαίο λίθο της τεχνολογικής ανάπτυξης της βιομηχανίας φωτισμού ημιαγωγών. Διαφορετικά υλικά υποστρώματος χρειάζονται διαφορετική τεχνολογία ανάπτυξης επιταξιακής γκοφρέτας LED, τεχνολογία επεξεργασίας τσιπ και τεχνολογία συσκευασίας συσκευών. Τα υλικά υποστρώματος καθορίζουν την πορεία ανάπτυξης της τεχνολογίας φωτισμού ημιαγωγών.
Χαρακτηριστικά της επιλογής υλικού υποστρώματος πλακέτας επιταξιακής LED:
1. Το επιταξιακό υλικό έχει την ίδια ή παρόμοια κρυσταλλική δομή με το υπόστρωμα, μικρή σταθερή αναντιστοιχία πλέγματος, καλή κρυσταλλικότητα και χαμηλή πυκνότητα ελαττώματος
2. Καλά χαρακτηριστικά διεπαφής, που ευνοούν τη δημιουργία πυρήνων επιταξιακών υλικών και ισχυρή πρόσφυση
3. Έχει καλή χημική σταθερότητα και δεν είναι εύκολο να αποσυντεθεί και να διαβρωθεί στη θερμοκρασία και την ατμόσφαιρα της επιταξιακής ανάπτυξης
4. Καλή θερμική απόδοση, συμπεριλαμβανομένης της καλής θερμικής αγωγιμότητας και της χαμηλής θερμικής αναντιστοιχίας
5. Καλή αγωγιμότητα, μπορεί να γίνει στην άνω και κάτω δομή 6, καλή οπτική απόδοση και το φως που εκπέμπεται από την κατασκευασμένη συσκευή απορροφάται λιγότερο από το υπόστρωμα
7. Καλές μηχανικές ιδιότητες και εύκολη επεξεργασία συσκευών, συμπεριλαμβανομένης της αραίωσης, της στίλβωσης και της κοπής
8. Χαμηλή τιμή.
9. Μεγάλο μέγεθος. Γενικά, η διάμετρος δεν πρέπει να είναι μικρότερη από 2 ίντσες.
10. Είναι εύκολο να αποκτήσετε ένα υπόστρωμα κανονικού σχήματος (εκτός εάν υπάρχουν άλλες ειδικές απαιτήσεις) και το σχήμα του υποστρώματος παρόμοιο με την οπή του δίσκου του επιταξιακού εξοπλισμού δεν είναι εύκολο να σχηματίσει ακανόνιστο δινορευματικό ρεύμα, έτσι ώστε να επηρεαστεί η επιταξιακή ποιότητα.
11. Με την προϋπόθεση ότι δεν επηρεάζεται η επιταξιακή ποιότητα, η δυνατότητα μηχανικής κατεργασίας του υποστρώματος πρέπει να πληροί όσο το δυνατόν περισσότερο τις απαιτήσεις της επακόλουθης επεξεργασίας τσιπς και συσκευασίας.
Είναι πολύ δύσκολο η επιλογή του υποστρώματος να πληροί τις παραπάνω έντεκα πτυχές ταυτόχρονα. Επομένως, προς το παρόν, μπορούμε να προσαρμοστούμε μόνο στην Ε & Α και στην παραγωγή συσκευών ημιαγωγών που εκπέμπουν φως σε διαφορετικά υποστρώματα μέσω της αλλαγής της τεχνολογίας επιταξιακής ανάπτυξης και της προσαρμογής της τεχνολογίας επεξεργασίας συσκευών. Υπάρχουν πολλά υλικά υποστρώματος για την έρευνα για το νιτρίδιο του γαλλίου, αλλά υπάρχουν μόνο δύο υποστρώματα που μπορούν να χρησιμοποιηθούν για παραγωγή, συγκεκριμένα το ζαφείρι Al2O3 και το καρβίδιο του πυριτίουΥποστρώματα SiC.
Ώρα δημοσίευσης: Φεβ-28-2022