Ενέργεια ΕΕΚΟ φορέας γραφίτη διεργασίας PECVD είναι ένα αναλώσιμο υψηλής ποιότητας προσαρμοσμένο για τη διαδικασία PECVD (χημική εναπόθεση ατμών ενισχυμένη με πλάσμα). Αυτός ο φορέας γραφίτη είναι κατασκευασμένος από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας, υψηλής πυκνότητας, με εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά, μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα φορέα για τη διαδικασία PECVD, για να εξασφαλίσει την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της λεπτής μεμβράνης κατάθεση.
Οι φορείς γραφίτη για τη διαδικασία PECVD έχουν τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:
▪ Υψηλή καθαρότητα: εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, αποφεύγοντας τη μόλυνση του φιλμ και διασφαλίζοντας την ποιότητα του φιλμ.
▪ Υψηλή πυκνότητα: υψηλή πυκνότητα, υψηλή μηχανική αντοχή, ικανή να αντέχει σε υψηλή θερμοκρασία και υψηλή πίεση περιβάλλον PECVD.
▪ Καλή σταθερότητα διαστάσεων: μικρή αλλαγή διαστάσεων σε υψηλή θερμοκρασία, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα της διαδικασίας.
▪ Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα: μεταφέρετε αποτελεσματικά τη θερμότητα για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση της γκοφρέτας.
▪ Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση: ικανή να αντισταθεί στη διάβρωση από διάφορα διαβρωτικά αέρια και πλάσμα.
▪ Εξατομικευμένη υπηρεσία: οι φορείς γραφίτη διαφορετικών μεγεθών και σχημάτων μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις ανάγκες των πελατών.
Υλικό γραφίτη από SGL:
Τυπική παράμετρος: R6510 | |||
Δείκτης | Πρότυπο δοκιμής | Αξία | Μονάδα |
Μέσο μέγεθος κόκκου | ISO 13320 | 10 | μm |
Χύδην πυκνότητα | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Ανοιχτό πορώδες | DIN66133 | 10 | % |
Μεσαίο μέγεθος πόρων | DIN66133 | 1.8 | μm |
Διαπερατό | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Σκληρότητα Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Ειδική ηλεκτρική αντίσταση | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Αντοχή σε κάμψη | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Αντοχή σε θλίψη | DIN 51910 | 130 | MPa |
μέτρο του Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Θερμική διαστολή (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2Χ10-6 | K-1 |
Θερμική αγωγιμότητα (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την κατασκευή ηλιακών κυψελών υψηλής απόδοσης, υποστηρίζοντας την επεξεργασία γκοφρέτας μεγάλου μεγέθους G12. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός φορέα αυξάνει σημαντικά την απόδοση, επιτρέποντας υψηλότερους ρυθμούς απόδοσης και χαμηλότερο κόστος παραγωγής.
Είδος | Τύπος | Αριθμός φορέας γκοφρέτας |
PEVCD Grephite boat - The 156 series | 156-13 σκάφος grephite | 144 |
Σκάφος grephite 156-19 | 216 | |
156-21 σκάφος grephite | 240 | |
156-23 βάρκα γραφίτη | 308 | |
PEVCD Grephite boat - The 125 series | 125-15 σκάφος grephite | 196 |
Σκάφος grephite 125-19 | 252 | |
125-21 γρφίτη σκάφος | 280 |