Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorείναι μια ειδικά σχεδιασμένη συσκευή υποστήριξης και θέρμανσης που χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση και τη θέρμανση υποστρωμάτων ημιαγωγών κατά τη διάρκεια παραγωγικών διεργασιών όπως οι διεργασίες εναπόθεσης ή επιταξίας.

Η δομή του περιλαμβάνει συνήθως κυλινδρικό ή ελαφρώς βαρελίσιο, η επιφάνεια διαθέτει πολλαπλές τσέπες ή πλατφόρμες για την τοποθέτηση των γκοφρετών, μπορεί να είναι συμπαγής ή κοίλος σχεδιασμός, ανάλογα με τη μέθοδο θέρμανσης.

Οι κύριες λειτουργίες του επιταξιακού υποδοχέα κάννης:

-Υποστήριξη υποστρώματος: συγκρατεί με ασφάλεια πολλαπλές γκοφρέτες ημιαγωγών.
-Πηγή θερμότητας: παρέχει υψηλές θερμοκρασίες που απαιτούνται για την ανάπτυξη μέσω της θέρμανσης.
-Ομοιομορφία θερμοκρασίας: εξασφαλίζει ομοιόμορφη θέρμανση των υποστρωμάτων.
-Περιστροφή: συνήθως περιστρέφεται κατά την ανάπτυξη για να βελτιώσει τη θερμοκρασία και την ομοιομορφία κατανομής αερίου.

Αρχή λειτουργίας του υποδοχέα βαρελιού γραφίτη Epi:
- Στον επιταξιακό αντιδραστήρα, ο υποδοχέας κάννης θερμαίνεται στην απαιτούμενη θερμοκρασία (συνήθως 1000℃-1200℃ για επιταξία πυριτίου).
-Ο υποδοχέας κάννης περιστρέφεται για να εξασφαλίσει ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας και ροή αερίου.
-Τα αέρια αντίδρασης αποσυντίθενται σε υψηλές θερμοκρασίες, σχηματίζοντας επιταξιακά στρώματα στην επιφάνεια του υποστρώματος.

Εφαρμογές:
- Χρησιμοποιείται κυρίως για επιταξιακή ανάπτυξη πυριτίου
-Ισχύει επίσης για επιταξία άλλων ημιαγωγών υλικών όπως GaAs, InP κ.λπ.

Η VET Energy χρησιμοποιεί γραφίτη υψηλής καθαρότητας με επίστρωση CVD-SiC για ενίσχυση της χημικής σταθερότητας:

Τα πλεονεκτήματα του VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία.
-Καλή θερμική ομοιομορφία.
-Μπορεί να επεξεργαστεί πολλά υποστρώματα ταυτόχρονα, βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της παραγωγής.
-Χημικά αδρανές, διατηρώντας ένα περιβάλλον ανάπτυξης υψηλής καθαρότητας.