Υποδοχέας πλακών με επικάλυψη CVD TaC

Σύντομη περιγραφή:

Ο επικαλυμμένος δίσκος VET Energy CVD TaC είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για να παρέχει σταθερή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα, αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρέτας.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

ΟΕπικάλυψη CVD TaCΤο Plate Susceptor από την vet-china έχει σχεδιαστεί για υψηλές επιδόσεις σε διαδικασίες χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Αυτός ο υποδοχέας διαθέτει στιβαρόΕπικάλυψη TaC (καρβίδιο τανταλίου)., προσφέροντας εξαιρετική θερμική σταθερότητα, χημική αντοχή και ανθεκτικότητα, καθιστώντας το ιδανική λύση για την κατασκευή ημιαγωγών και εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες. ΟΕπίστρωση CVD TaCεξασφαλίζει εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση και τη φθορά, επιτρέποντας στον υποδοχέα να διατηρήσει την ακεραιότητα και τη λειτουργία του σε σκληρά περιβάλλοντα.

κτηνίατρος της ΚίναςΕπικάλυψη CVD TaCΤο Plate Susceptor ξεχωρίζει για την ικανότητά του να κατανέμει ομοιόμορφα τη θερμότητα κατά τις διεργασίες CVD, εξασφαλίζοντας ακριβή εναπόθεση στρώματος και ενισχύοντας την αποτελεσματικότητα της κατασκευής ημιαγωγών. Η επίστρωση Ta-C παρέχει πρόσθετη προστασία από τη χημική διάβρωση, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του υποδοχέα και βελτιώνοντας τη συνολική απόδοση. Με έναν συνδυασμό προηγμένης τεχνολογίας CVD susceptor και υψηλής ποιότητας χημικών επικαλύψεων TaC, αυτός ο susceptor αποτελεί βασικό συστατικό για βιομηχανίες που απαιτούν ακρίβεια και αξιοπιστία σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

Είτε χρησιμοποιούνται στην παραγωγή ημιαγωγών είτε σε άλλες εφαρμογές υψηλής τεχνολογίας, τοΥποδοχέας πλακών με επικάλυψη CVD TaCέχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις της σύγχρονης κατασκευής. Υποστηριζόμενο από τη φήμη της Semicera για την καινοτομία και την ποιότητα, αυτό το προϊόν προσφέρει ανώτερη απόδοση και μακροχρόνια ανθεκτικότητα, καθιστώντας το μια αξιόπιστη επιλογή για τις διαδικασίες CVD.

Η επίστρωση TaC είναι ένα είδος επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου (TaC) που παρασκευάζεται με τεχνολογία φυσικής εναπόθεσης ατμού, έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

1. Υψηλή σκληρότητα: Η σκληρότητα επίστρωσης TaC είναι υψηλή, συνήθως μπορεί να φτάσει τα 2500-3000HV, είναι μια εξαιρετική σκληρή επίστρωση.

2. Αντοχή στη φθορά: Η επίστρωση TaC είναι πολύ ανθεκτική στη φθορά, η οποία μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τη φθορά και τη φθορά των μηχανικών μερών κατά τη χρήση.

3. Καλή αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: Η επίστρωση TaC μπορεί επίσης να διατηρήσει την άριστη απόδοσή της σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας.

4. Καλή χημική σταθερότητα: Η επίστρωση TaC έχει καλή χημική σταθερότητα και μπορεί να αντισταθεί σε πολλές χημικές αντιδράσεις, όπως οξέα και βάσεις.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Φυσικές ιδιότητες του TaC επένδυση
密度/ Πυκνότητα	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Ειδική ικανότητα εκπομπής	0.3
热膨胀系数 / Συντελεστής θερμικής διαστολής	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Σκληρότητα (HK)	2000 HK
电阻 / Αντίσταση	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Θερμική σταθερότητα	<2500℃
石墨尺寸变化 / Αλλαγές μεγέθους γραφίτη	-10~-20 μμ
涂层厚度 / Πάχος επίστρωσης	≥20um τυπική τιμή (35um±10um)

Η Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd είναι μια επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας που εστιάζει στην παραγωγή και τις πωλήσεις προηγμένων υλικών υψηλής τεχνολογίας, των υλικών και της τεχνολογίας που καλύπτουν τον γραφίτη, το καρβίδιο του πυριτίου, τα κεραμικά, την επεξεργασία επιφανειών και ούτω καθεξής. Τα προϊόντα χρησιμοποιούνται ευρέως σε φωτοβολταϊκά, ημιαγωγούς, νέα ενέργεια, μεταλλουργία κ.λπ.

Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!