Pan mae'n semen inewyddion busnes, mae deall cywrain gwneuthuriad lled-ddargludyddion yn anghenraid. Mae wafferi lled-ddargludyddion yn rhan hanfodol o'r diwydiant hwn, ond maent yn aml yn wynebu halogiad gan amrywiaeth o amhuredd. Mae'r halogion hyn, yn cynnwys atom, mater organig, ïon elfen metelaidd, ac ocsid, yn gallu effeithio ar y weithdrefn saernïo.
Gronynnaumegis polymer ac ysgythru ymddiriedaeth amhuredd ar rym rhyngfoleciwlaidd i adsorb ar wyneb y wafer, effeithio ar ffotolithograffeg ddyfais.amhureddau organigfel olew croen homo a ffilm ffurflen olew peiriant ar y wafer, rhwystro glanhau.ïonau elfen metelaiddfel haearn ac alwminiwm yn aml yn cael eu tynnu drwy ffurfio elfen metelig ïon cymhleth.Ocsidaurhwystro'r weithdrefn saernïo ac fel arfer yn cael eu tynnu gan socian mewn asid hydrofluoric gwanedig.
dulliau cemegolyn cael eu defnyddio'n gyffredin i lanhau a physglyd wafer lled-ddargludyddion. mae techneg glanhau cemegol lleithder fel tanddwr toddiant a phrysgwydd mecanyddol yn gyffredin. mae dull glanhau uwchsonig a megasonig yn cynnig ffyrdd effeithlon o gael gwared ar amhuredd. glanhau cemegol sych, yn cynnwys plasma a thechnoleg cyfnod nwy, hefyd yn chwarae swyddogaeth mewn prosesau glanhau wafferi lled-ddargludyddion.
Amser post: Hydref-29-2024