Sut i lanhau cwch graffit PECVD？| VET Ynni

1. Cydnabyddiaeth cyn glanhau

1) Pan yCwch graffit PECVD/ defnyddir cludwr fwy na 100 i 150 o weithiau, mae angen i'r gweithredwr wirio cyflwr y cotio mewn pryd. Os oes cotio annormal, mae angen ei lanhau a'i gadarnhau. Mae lliw cotio arferol y wafer silicon yn y cwch / cludwr graffit yn las. Os oes gan y wafer liwiau lluosog nad ydynt yn las, neu os yw'r gwahaniaeth lliw rhwng y wafferi yn fawr, mae'n orchudd annormal, ac mae angen cadarnhau achos yr annormaledd mewn pryd.
2) ar ôl y broses personél dadansoddi cyflwr cotio yCwch graffit PECVD/ cludwr, byddant yn penderfynu a oes angen glanhau'r cwch graffit ac a oes angen ailosod y pwynt cerdyn, a bydd y cwch / cludwr graffit y mae angen ei lanhau yn cael ei drosglwyddo i bersonél yr offer i'w lanhau.

 

3) Ar ôl ycwch graffit/ mae'r cludwr wedi'i ddifrodi, bydd y personél cynhyrchu yn tynnu'r holl wafferi silicon yn y cwch graffit ac yn defnyddio CDA (aer cywasgedig) i roi trefn ar y darnau yn ycwch graffit. Ar ôl ei gwblhau, bydd personél yr offer yn ei godi i'r tanc asid sydd wedi'i baratoi gyda chyfran benodol o hydoddiant HF i'w lanhau.

 

2. Glanhau cwch graffit

Argymhellir defnyddio hydoddiant asid hydrofluorig 15-25% ar gyfer tair rownd o lanhau, pob un am 4-5 awr, a byrlymu nitrogen o bryd i'w gilydd yn ystod y broses socian a glanhau, gan ychwanegu tua hanner awr o lanhau; Sylwch: ni argymhellir defnyddio aer yn uniongyrchol fel y ffynhonnell nwy ar gyfer byrlymu. Ar ôl piclo, rinsiwch â dŵr pur am tua 10 awr, a chadarnhewch fod y cwch wedi'i lanhau'n drylwyr. Ar ôl glanhau, gwiriwch wyneb y cwch, pwynt y cerdyn graffit a'r cydlen cwch, a rhannau eraill i weld a oes unrhyw weddillion nitrid silicon. Yna sychwch yn unol â'r gofynion.

3. Glanhau rhagofalon

A) Gan fod asid HF yn sylwedd cyrydol iawn a bod ganddo anweddolrwydd penodol, mae'n beryglus i weithredwyr. Felly, rhaid i weithredwyr wrth y safle glanhau gymryd rhagofalon diogelwch a chael eu rheoli gan berson penodedig.

B) Argymhellir dadosod y cwch a dim ond glanhau'r rhan graffit wrth lanhau, fel y gellir glanhau pob rhan gyswllt yn fwy trylwyr. Ar hyn o bryd, mae llawer o weithgynhyrchwyr domestig yn defnyddio glanhau cyffredinol, sy'n gyfleus, ond oherwydd bod asid HF yn gyrydol i rannau ceramig, bydd glanhau cyffredinol yn byrhau bywyd gwasanaeth y rhannau cyfatebol.