Fel y dangosir uchod, yn nodweddiadol
Yr hanner cyntaf:
Elfen Gwresogi (coil gwresogi): wedi'i leoli o amgylch y tiwb ffwrnais, fel arfer wedi'i wneud o wifrau gwrthiant, a ddefnyddir i wresogi y tu mewn i'r tiwb ffwrnais.
Tiwb Quartz: Craidd ffwrnais ocsideiddio poeth, wedi'i gwneud o chwarts purdeb uchel a all wrthsefyll tymheredd uchel ac aros yn gemegol anadweithiol.
Porthiant Nwy: Wedi'i leoli ar ochr uchaf neu ochr y tiwb ffwrnais, fe'i defnyddir i gludo ocsigen neu nwyon eraill i'r tu mewn i'r tiwb ffwrnais.
SS Flange: cydrannau sy'n cysylltu tiwbiau cwarts a llinellau nwy, gan sicrhau tyndra a sefydlogrwydd y cysylltiad.
Llinellau Bwydo Nwy: Pibellau sy'n cysylltu'r MFC â'r porthladd cyflenwi nwy ar gyfer trosglwyddo nwy.
MFC (Rheolwr Llif Màs): Dyfais sy'n rheoli llif y nwy y tu mewn i diwb cwarts i reoli faint o nwy sydd ei angen yn union.
Awyrell: Fe'i defnyddir i awyru'r nwy gwacáu o'r tu mewn i'r tiwb ffwrnais i'r tu allan i'r offer.
rhan isaf
Wafferi Silicon mewn Deiliad: Mae wafferi silicon yn cael eu cadw mewn Deiliad arbennig i sicrhau gwres unffurf yn ystod ocsidiad.
Deiliad Wafer: Fe'i defnyddir i ddal y wafer silicon a sicrhau bod y wafer silicon yn aros yn sefydlog yn ystod y broses.
Pedestal: Strwythur sy'n dal Deiliad wafer silicon, fel arfer wedi'i wneud o ddeunydd gwrthsefyll tymheredd uchel.
Elevator: Fe'i defnyddir i godi deiliaid Waffer i mewn ac allan o diwbiau cwarts ar gyfer llwytho a dadlwytho wafferi silicon yn awtomatig.
Robot Trosglwyddo Wafer: wedi'i leoli ar ochr y ddyfais tiwb ffwrnais, fe'i defnyddir i dynnu'r wafer silicon yn awtomatig o'r blwch a'i roi yn y tiwb ffwrnais, neu ei dynnu ar ôl ei brosesu.
Carwsél Storio Casét: Defnyddir carwsél storio casét i storio blwch sy'n cynnwys wafferi silicon a gellir ei gylchdroi ar gyfer mynediad robotiaid.
Casét Wafferi: defnyddir casét wafferi i storio a throsglwyddo'r wafferi silicon i'w prosesu.
Amser post: Ebrill-22-2024