Fel y dangosir uchod, yn nodweddiadol
Yr hanner cyntaf:
▪ Elfen Gwresogi (coil gwresogi):
lleoli o amgylch y tiwb ffwrnais, a wneir fel arfer o wifrau ymwrthedd, a ddefnyddir i wresogi y tu mewn i'r tiwb ffwrnais.
▪ Tiwb cwarts:
Craidd ffwrnais ocsideiddio poeth, wedi'i gwneud o chwarts purdeb uchel a all wrthsefyll tymheredd uchel ac aros yn gemegol anadweithiol.
▪ Porthiant Nwy:
Wedi'i leoli ar ochr uchaf neu ochr y tiwb ffwrnais, fe'i defnyddir i gludo ocsigen neu nwyon eraill i'r tu mewn i'r tiwb ffwrnais.
▪ SS Flange:
cydrannau sy'n cysylltu tiwbiau cwarts a llinellau nwy, gan sicrhau tyndra a sefydlogrwydd y cysylltiad.
▪ Llinellau Bwydo Nwy:
Pibellau sy'n cysylltu'r MFC â'r porthladd cyflenwi nwy ar gyfer trosglwyddo nwy.
▪ MFC (Rheolwr Llif Torfol):
Dyfais sy'n rheoli llif nwy y tu mewn i diwb cwarts i reoleiddio'n union faint o nwy sydd ei angen.
▪ Awyrell:
Fe'i defnyddir i awyru'r nwy gwacáu o'r tu mewn i'r tiwb ffwrnais i'r tu allan i'r offer.
Rhan isaf:
▪ Wafferi Silicon yn y Daliwr:
Mae wafferi silicon yn cael eu cartrefu mewn Deiliad arbennig i sicrhau gwres unffurf yn ystod ocsidiad.
▪ Daliwr Wafferi:
Fe'i defnyddir i ddal y wafer silicon a sicrhau bod y wafer silicon yn aros yn sefydlog yn ystod y broses.
▪ Pedestal:
Strwythur sy'n dal Deiliad wafer silicon, fel arfer wedi'i wneud o ddeunydd gwrthsefyll tymheredd uchel.
▪ Elevator:
Fe'i defnyddir i godi deiliaid Wafferi i mewn ac allan o diwbiau cwarts ar gyfer llwytho a dadlwytho wafferi silicon yn awtomatig.
▪ Robot Trosglwyddo Wafferi:
wedi'i leoli ar ochr y ddyfais tiwb ffwrnais, fe'i defnyddir i dynnu'r wafer silicon yn awtomatig o'r blwch a'i roi yn y tiwb ffwrnais, neu ei dynnu ar ôl ei brosesu.
▪ Carwsél Storio Casét:
Defnyddir carwsél storio casét i storio blwch sy'n cynnwys wafferi silicon a gellir ei gylchdroi ar gyfer mynediad robotiaid.
▪ Casét Wafferi:
defnyddir casét wafferi i storio a throsglwyddo'r wafferi silicon i'w prosesu.
Amser post: Ebrill-22-2024