Mae cynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion yn bennaf yn cynnwys dyfeisiau arwahanol, cylchedau integredig a'u prosesau pecynnu.
Gellir rhannu cynhyrchu lled-ddargludyddion yn dri cham: cynhyrchu deunydd corff cynnyrch, cynnyrchwaffergweithgynhyrchu a chydosod dyfeisiau. Yn eu plith, y llygredd mwyaf difrifol yw cam gweithgynhyrchu wafferi cynnyrch.
Rhennir llygryddion yn bennaf yn ddŵr gwastraff, nwy gwastraff a gwastraff solet.
Proses gweithgynhyrchu sglodion:
Silicon waferar ôl malu allanol - glanhau - ocsidiad - gwrthsefyll unffurf - ffotolithograffeg - datblygu - ysgythru - trylediad, mewnblannu ïon - dyddodiad anwedd cemegol - sgleinio mecanyddol cemegol - meteleiddio, ac ati.
Dŵr gwastraff
Cynhyrchir llawer iawn o ddŵr gwastraff ym mhob cam proses o weithgynhyrchu lled-ddargludyddion a phrofi pecynnu, yn bennaf dŵr gwastraff asid-sylfaen, dŵr gwastraff sy'n cynnwys amonia a dŵr gwastraff organig.
1. dŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin:
Asid hydrofluorig yw'r prif doddydd a ddefnyddir mewn prosesau ocsideiddio ac ysgythru oherwydd ei briodweddau ocsideiddio a chyrydol. Daw dŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin yn y broses yn bennaf o'r broses tryledu a'r broses sgleinio mecanyddol cemegol yn y broses gweithgynhyrchu sglodion. Yn y broses o lanhau wafferi silicon ac offer cysylltiedig, defnyddir asid hydroclorig lawer gwaith hefyd. Mae'r holl brosesau hyn yn cael eu cwblhau mewn tanciau ysgythru pwrpasol neu offer glanhau, felly gellir gollwng dŵr gwastraff sy'n cynnwys fflworin yn annibynnol. Yn ôl y crynodiad, gellir ei rannu'n ddŵr gwastraff crynodiad uchel sy'n cynnwys fflworin a dŵr gwastraff crynodiad isel sy'n cynnwys amonia. Yn gyffredinol, gall y crynodiad o ddŵr gwastraff crynodiad uchel sy'n cynnwys amonia gyrraedd 100-1200 mg / L. Mae'r rhan fwyaf o gwmnïau'n ailgylchu'r rhan hon o ddŵr gwastraff ar gyfer prosesau nad oes angen ansawdd dŵr uchel arnynt.
2. dŵr gwastraff asid-sylfaen:
Mae bron pob proses yn y broses weithgynhyrchu cylched integredig yn gofyn am lanhau'r sglodion. Ar hyn o bryd, asid sylffwrig a hydrogen perocsid yw'r hylifau glanhau a ddefnyddir amlaf yn y broses weithgynhyrchu cylched integredig. Ar yr un pryd, defnyddir adweithyddion asid-sylfaen megis asid nitrig, asid hydroclorig a dŵr amonia.
Daw dŵr gwastraff asid-sylfaen y broses weithgynhyrchu yn bennaf o'r broses lanhau yn y broses gweithgynhyrchu sglodion. Yn y broses becynnu, caiff y sglodion ei drin â hydoddiant asid-sylfaen yn ystod electroplatio a dadansoddi cemegol. Ar ôl triniaeth, mae angen ei olchi â dŵr pur i gynhyrchu dŵr gwastraff golchi asid-bas. Yn ogystal, mae adweithyddion asid-sylfaen fel sodiwm hydrocsid ac asid hydroclorig hefyd yn cael eu defnyddio yn yr orsaf ddŵr pur i adfywio resinau anion a cation i gynhyrchu dŵr gwastraff adfywio asid-sylfaen. Mae dŵr cynffon golchi hefyd yn cael ei gynhyrchu yn ystod y broses golchi nwy gwastraff asid-sylfaen. Mewn cwmnïau gweithgynhyrchu cylched integredig, mae faint o ddŵr gwastraff sylfaen asid yn arbennig o fawr.
3. dŵr gwastraff organig:
Oherwydd gwahanol brosesau cynhyrchu, mae faint o doddyddion organig a ddefnyddir yn y diwydiant lled-ddargludyddion yn wahanol iawn. Fodd bynnag, fel asiantau glanhau, mae toddyddion organig yn dal i gael eu defnyddio'n eang mewn gwahanol gysylltiadau o becynnu gweithgynhyrchu. Mae rhai toddyddion yn dod yn arllwysiad dŵr gwastraff organig.
4. dŵr gwastraff arall:
Bydd proses ysgythru y broses gynhyrchu lled-ddargludyddion yn defnyddio llawer iawn o amonia, fflworin a dŵr purdeb uchel ar gyfer dadheintio, a thrwy hynny gynhyrchu gollyngiad dŵr gwastraff crynodiad uchel sy'n cynnwys amonia.
Mae angen y broses electroplatio yn y broses pecynnu lled-ddargludyddion. Mae angen glanhau'r sglodion ar ôl electroplatio, a bydd dŵr gwastraff glanhau electroplatio yn cael ei gynhyrchu yn y broses hon. Gan fod rhai metelau'n cael eu defnyddio mewn electroplatio, bydd allyriadau ïon metel yn y dŵr gwastraff glanhau electroplatio, megis plwm, tun, disg, sinc, alwminiwm, ac ati.
Nwy gwastraff
Gan fod gan y broses lled-ddargludyddion ofynion hynod o uchel ar gyfer glendid yr ystafell weithredu, mae cefnogwyr fel arfer yn cael eu defnyddio i echdynnu gwahanol fathau o nwyon gwastraff sy'n anweddol yn ystod y broses. Felly, nodweddir yr allyriadau nwyon gwastraff yn y diwydiant lled-ddargludyddion gan gyfaint gwacáu mawr a chrynodiad allyriadau isel. Mae allyriadau nwyon gwastraff hefyd yn cael eu cyfnewid yn bennaf.
Gellir rhannu'r allyriadau nwyon gwastraff hyn yn bennaf yn bedwar categori: nwy asidig, nwy alcalïaidd, nwy gwastraff organig a nwy gwenwynig.
1. Nwy gwastraff asid-sylfaen:
Daw nwy gwastraff sylfaen asid yn bennaf o drylediad,CVD, CMP a phrosesau ysgythru, sy'n defnyddio toddiant glanhau asid-sylfaen i lanhau'r wafer.
Ar hyn o bryd, y toddydd glanhau a ddefnyddir amlaf yn y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion yw cymysgedd o hydrogen perocsid ac asid sylffwrig.
Mae'r nwy gwastraff a gynhyrchir yn y prosesau hyn yn cynnwys nwyon asidig megis asid sylffwrig, asid hydrofluorig, asid hydroclorig, asid nitrig ac asid ffosfforig, ac mae'r nwy alcalïaidd yn bennaf amonia.
2. Nwy gwastraff organig:
Daw nwy gwastraff organig yn bennaf o brosesau megis ffotolithograffeg, datblygiad, ysgythru a thrylediad. Yn y prosesau hyn, defnyddir datrysiad organig (fel alcohol isopropyl) i lanhau wyneb y wafer, ac mae'r nwy gwastraff a gynhyrchir gan anweddoli yn un o ffynonellau nwy gwastraff organig;
Ar yr un pryd, mae'r photoresist (photoresist) a ddefnyddir yn y broses o ffotolithograffeg ac ysgythru yn cynnwys toddyddion organig anweddol, megis asetad butyl, sy'n anweddoli i'r atmosffer yn ystod y broses brosesu wafferi, sy'n ffynhonnell arall o nwy gwastraff organig.
3. Nwy gwastraff gwenwynig:
Daw nwy gwastraff gwenwynig yn bennaf o brosesau megis epitacsi grisial, ysgythru sych a CVD. Yn y prosesau hyn, defnyddir amrywiaeth o nwyon arbennig purdeb uchel i brosesu'r wafer, megis silicon (SiHj), ffosfforws (PH3), carbon tetraclorid (CFJ), boron, triocsid boron, ac ati. Mae rhai nwyon arbennig yn wenwynig, asphyxiating a cyrydol.
Ar yr un pryd, yn y broses ysgythru a glanhau sych ar ôl dyddodiad anwedd cemegol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae angen llawer iawn o nwy ocsid llawn (PFCS), megis NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ac ati Mae'r cyfansoddion perfflworinedig hyn yn cael amsugno cryf yn y rhanbarth golau isgoch ac yn aros yn yr atmosffer am amser hir. Yn gyffredinol fe'u hystyrir fel prif ffynhonnell yr effaith tŷ gwydr byd-eang.
4. Nwy gwastraff proses pecynnu:
O'i gymharu â'r broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r nwy gwastraff a gynhyrchir gan y broses pecynnu lled-ddargludyddion yn gymharol syml, yn bennaf nwy asidig, resin epocsi a llwch.
Cynhyrchir nwy gwastraff asidig yn bennaf mewn prosesau megis electroplatio;
Cynhyrchir nwy gwastraff pobi yn y broses o bobi ar ôl gludo a selio cynnyrch;
Mae'r peiriant deisio yn cynhyrchu nwy gwastraff sy'n cynnwys llwch silicon hybrin yn ystod y broses torri wafferi.
Problemau llygredd amgylcheddol
Ar gyfer problemau llygredd amgylcheddol yn y diwydiant lled-ddargludyddion, y prif broblemau y mae angen eu datrys yw:
· Allyriadau ar raddfa fawr o lygryddion aer a chyfansoddion organig anweddol (VOCs) yn y broses ffotolithograffeg;
· Allyriadau cyfansoddion perfflworinedig (PFCS) mewn ysgythru plasma a phrosesau dyddodi anwedd cemegol;
· Defnydd ar raddfa fawr o ynni a dŵr wrth gynhyrchu a diogelu diogelwch gweithwyr;
· Ailgylchu a monitro llygredd o sgil-gynhyrchion;
· Problemau defnyddio cemegau peryglus mewn prosesau pecynnu.
Cynhyrchu glân
Gellir gwella technoleg cynhyrchu glân dyfais lled-ddargludyddion o'r agweddau ar ddeunyddiau crai, prosesau a rheoli prosesau.
Gwella deunyddiau crai ac ynni
Yn gyntaf, dylid rheoli purdeb deunyddiau yn llym i leihau cyflwyniad amhureddau a gronynnau.
Yn ail, dylid cynnal tymheredd amrywiol, canfod gollyngiadau, dirgryniad, sioc drydan foltedd uchel a phrofion eraill ar y cydrannau sy'n dod i mewn neu'r cynhyrchion lled-orffen cyn eu cynhyrchu.
Yn ogystal, dylid rheoli purdeb deunyddiau ategol yn llym. Mae yna lawer o dechnolegau y gellir eu defnyddio ar gyfer cynhyrchu ynni glân.
Optimeiddio'r broses gynhyrchu
Mae'r diwydiant lled-ddargludyddion ei hun yn ymdrechu i leihau ei effaith ar yr amgylchedd trwy welliannau technoleg proses.
Er enghraifft, yn y 1970au, defnyddiwyd toddyddion organig yn bennaf i lanhau wafferi yn y dechnoleg glanhau cylched integredig. Yn yr 1980au, defnyddiwyd toddiannau asid ac alcali fel asid sylffwrig i lanhau wafferi. Hyd at y 1990au, datblygwyd technoleg glanhau ocsigen plasma.
O ran pecynnu, mae'r rhan fwyaf o gwmnïau ar hyn o bryd yn defnyddio technoleg electroplatio, a fydd yn achosi llygredd metel trwm i'r amgylchedd.
Fodd bynnag, nid yw planhigion pecynnu yn Shanghai bellach yn defnyddio technoleg electroplatio, felly nid oes unrhyw effaith o fetelau trwm ar yr amgylchedd. Gellir canfod bod y diwydiant lled-ddargludyddion yn lleihau ei effaith ar yr amgylchedd yn raddol trwy welliannau prosesau ac amnewid cemegol yn ei broses ddatblygu ei hun, sydd hefyd yn dilyn y duedd datblygu byd-eang presennol o eirioli proses a dylunio cynnyrch yn seiliedig ar yr amgylchedd.
Ar hyn o bryd, mae mwy o welliannau i brosesau lleol yn cael eu gwneud, gan gynnwys:
·Amnewid a lleihau nwy PFCS holl-amoniwm, megis defnyddio nwy PFCs ag effaith tŷ gwydr isel i ddisodli nwy ag effaith tŷ gwydr uchel, megis gwella llif y broses a lleihau faint o nwy PFCS a ddefnyddir yn y broses;
·Gwella glanhau aml-waffer i lanhau un wafer i leihau faint o gyfryngau glanhau cemegol a ddefnyddir yn y broses lanhau.
· Rheolaeth broses gaeth:
a. Gwireddu awtomeiddio'r broses weithgynhyrchu, a all wireddu prosesu manwl gywir a swp-gynhyrchu, a lleihau cyfradd gwallau uchel gweithrediad llaw;
b. Ffactorau amgylcheddol proses ultra-lân, mae tua 5% neu lai o'r golled cynnyrch yn cael ei achosi gan bobl a'r amgylchedd. Mae ffactorau amgylcheddol proses ultra-lân yn bennaf yn cynnwys glendid aer, dŵr purdeb uchel, aer cywasgedig, CO2, N2, tymheredd, lleithder, ac ati. Mae lefel glendid gweithdy glân yn aml yn cael ei fesur gan y nifer uchaf o ronynnau a ganiateir fesul uned gyfaint o aer, hynny yw, crynodiad cyfrif gronynnau;
c. Cryfhau canfod, a dewis pwyntiau allweddol priodol i'w canfod mewn gweithfannau gyda llawer iawn o wastraff yn ystod y broses gynhyrchu.
Croeso i unrhyw gwsmeriaid o bob cwr o'r byd ymweld â ni am drafodaeth bellach!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Amser post: Awst-13-2024