Silicon carbid

Mae silicon carbid (SiC) yn ddeunydd lled-ddargludyddion cyfansawdd newydd. Mae gan silicon carbid fwlch band mawr (tua 3 gwaith silicon), cryfder maes critigol uchel (tua 10 gwaith silicon), dargludedd thermol uchel (tua 3 gwaith silicon). Mae'n ddeunydd lled-ddargludyddion cenhedlaeth nesaf pwysig. Defnyddir haenau SiC yn eang yn y diwydiant lled-ddargludyddion a ffotofoltäig solar. Yn benodol, mae angen defnyddio cotio SiC ar y rhagdybwyr a ddefnyddir yn nhwf epitaxial LEDs a Si epitaxy grisial sengl. Oherwydd y duedd gref ar i fyny o LEDs yn y diwydiant goleuo ac arddangos, a datblygiad egnïol y diwydiant lled-ddargludyddion,Cynnyrch cotio SiCmae'r rhagolygon yn dda iawn.

图片8图片7

MAES CAIS

Cynhyrchion ffotofoltäig solar

Purdeb, Strwythur SEM, dadansoddiad trwch oCotio SiC

Mae purdeb haenau SiC ar graffit trwy ddefnyddio CVD mor uchel â 99.9995%. Mae ei strwythur yn fcc. Mae'r ffilmiau SiC sydd wedi'u gorchuddio ar graffit wedi'u gogwyddo (111) fel y dangosir yn y data XRD (Ffig.1) sy'n nodi ei ansawdd crisialog uchel. Mae trwch y ffilm SiC yn unffurf iawn fel y dangosir yn Ffig. 2.

图片2图片1

Ffig. 2: gwisg trwch ffilmiau SiC SEM ac XRD o ffilm beta‐SiC ar graffit

Data SEM o ffilm denau CVD SiC, maint y grisial yw 2 ~ 1 Opm

Mae strwythur grisial y ffilm CVD SiC yn strwythur ciwbig sy'n canolbwyntio ar yr wyneb, ac mae cyfeiriadedd twf y ffilm yn agos at 100%

Silicon carbid (SiC) wedi'i orchuddiosylfaen yw'r sylfaen orau ar gyfer silicon grisial sengl a GaN epitaxy, sef cydran graidd y ffwrnais epitaxy. Mae'r sylfaen yn affeithiwr cynhyrchu allweddol ar gyfer silicon monocrystalline ar gyfer cylchedau integredig mawr. Mae ganddo burdeb uchel, ymwrthedd tymheredd uchel, ymwrthedd cyrydiad, aerglosrwydd da a nodweddion deunydd rhagorol eraill.

Cymhwyso a defnyddio cynnyrch

Gorchudd sylfaen graffit ar gyfer tyfiant epitaxial silicon crisial sengl Yn addas ar gyfer peiriannau Aixtron, ac ati Trwch cotio: 90 ~ 150um Mae diamedr y crater waffer yn 55mm.


Amser post: Maw-14-2022
Sgwrs WhatsApp Ar-lein!