Swmp SiC Solid CVD Purdeb Uchel

Delwedd Swmp Swmp Sicrwydd Solid Purdeb Uchel

Disgrifiad Byr:

Mae twf cyflym crisialau sengl SiC gan ddefnyddio ffynonellau swmp CVD-SiC (Deposition Anwedd Cemegol - SiC) yn ddull cyffredin ar gyfer paratoi deunyddiau crisial sengl SiC o ansawdd uchel. Gellir defnyddio'r crisialau sengl hyn mewn amrywiaeth o gymwysiadau, gan gynnwys dyfeisiau electronig pŵer uchel, dyfeisiau optoelectroneg, synwyryddion a dyfeisiau lled-ddargludyddion.

Anfonwch e-bost atom Lawrlwythwch fel PDF

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Mae VET Energy yn defnyddio purdeb tra-uchelcarbid silicon (SiC)a ffurfiwyd gan ddyddodiad anwedd cemegol(CVD)fel y deunydd ffynhonnell ar gyfer tyfuCrisialau SiCtrwy gludiant anwedd corfforol (PVT). Mewn PVT, mae'r deunydd ffynhonnell yn cael ei lwytho i mewn i acruciblea sublimated ar grisial had.

Mae angen ffynhonnell purdeb uchel i gynhyrchu ansawdd uchelCrisialau SiC.

Mae VET Energy yn arbenigo mewn darparu SiC gronynnau mawr ar gyfer PVT oherwydd bod ganddo ddwysedd uwch na deunydd gronynnau bach a ffurfiwyd gan hylosgiad digymell o nwyon sy'n cynnwys Si a C. Yn wahanol i sintro cyfnod solet neu adwaith Si a C, nid oes angen ffwrnais sintro pwrpasol na cham sintro sy'n cymryd llawer o amser mewn ffwrnais twf. Mae gan y deunydd gronynnau mawr hwn gyfradd anweddu bron yn gyson, sy'n gwella unffurfiaeth rhedeg-i-redeg.

Cyflwyniad:
1. Paratoi ffynhonnell bloc CVD-SiC: Yn gyntaf, mae angen i chi baratoi ffynhonnell bloc CVD-SiC o ansawdd uchel, sydd fel arfer o burdeb uchel a dwysedd uchel. Gellir paratoi hwn trwy ddull dyddodiad anwedd cemegol (CVD) o dan amodau adwaith priodol.

2. Paratoi swbstrad: Dewiswch swbstrad priodol fel y swbstrad ar gyfer twf grisial sengl SiC. Mae deunyddiau swbstrad a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwys carbid silicon, nitrid silicon, ac ati, sydd â chydweddiad da â'r grisial sengl SiC cynyddol.

3. Gwresogi a sychdarthiad: Rhowch ffynhonnell a swbstrad bloc CVD-SiC mewn ffwrnais tymheredd uchel a darparu amodau sychdarthiad priodol. Mae sychdarthiad yn golygu, ar dymheredd uchel, bod y ffynhonnell bloc yn newid yn uniongyrchol o gyflwr solet i gyflwr anwedd, ac yna'n ail-gyddwyso ar wyneb y swbstrad i ffurfio un grisial.

4. Rheoli tymheredd: Yn ystod y broses sychdarthiad, mae angen rheoli graddiant tymheredd a dosbarthiad tymheredd yn fanwl i hyrwyddo sychdarthiad y ffynhonnell bloc a thwf crisialau sengl. Gall rheolaeth tymheredd priodol gyflawni ansawdd grisial delfrydol a chyfradd twf.

5. Rheolaeth atmosffer: Yn ystod y broses sychdarthiad, mae angen rheoli'r awyrgylch adwaith hefyd. Mae nwy anadweithiol purdeb uchel (fel argon) fel arfer yn cael ei ddefnyddio fel nwy cludo i gynnal pwysau a phurdeb priodol ac atal halogiad gan amhureddau.

6. Twf grisial sengl: Mae ffynhonnell bloc CVD-SiC yn mynd trwy gyfnod pontio anwedd yn ystod y broses sychdarthiad ac yn ail-gyddwyso ar wyneb y swbstrad i ffurfio un strwythur grisial. Gellir cyflawni twf cyflym crisialau sengl SiC trwy amodau sychdarthiad priodol a rheoli graddiant tymheredd.