Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptoryn ddyfais cymorth a gwresogi a ddyluniwyd yn arbennig a ddefnyddir i ddal a gwresogi swbstradau lled-ddargludyddion yn ystod prosesau gweithgynhyrchu fel prosesau Dyddodiad neu Epitaxy.

Mae ei strwythur yn cynnwys nodweddiadol silindrog neu siâp casgen ychydig, nodweddion wyneb pocedi lluosog neu lwyfannau ar gyfer gosod y wafferi, gall fod yn solet neu ddyluniad gwag, yn dibynnu ar y dull gwresogi.

Prif swyddogaethau daliwr casgen epitaxial:

-Cefnogaeth swbstrad: yn dal wafferi lled-ddargludyddion lluosog yn ddiogel;
-Ffynhonnell gwres: yn darparu tymereddau uchel sydd eu hangen ar gyfer twf trwy wresogi;
-Tymheredd unffurfiaeth: yn sicrhau gwresogi unffurf o swbstradau;
-Cylchdro: fel arfer yn cylchdroi yn ystod twf i wella tymheredd a dosbarthu nwy unffurfiaeth.

Egwyddor weithredol atalydd casgen Epi graffit:
- Yn yr adweithydd epitaxial, mae'r daliwr casgen yn cael ei gynhesu i'r tymheredd gofynnol (fel arfer 1000 ℃ -1200 ℃ ar gyfer epitacsi silicon);
-Mae'r susceptor casgen yn cylchdroi i sicrhau dosbarthiad tymheredd unffurf a llif nwy;
-Mae nwyon adwaith yn dadelfennu ar dymheredd uchel, gan ffurfio haenau epitaxial ar wyneb y swbstrad.

Ceisiadau:
- Defnyddir yn bennaf ar gyfer twf epitaxial silicon
-Hefyd yn berthnasol ar gyfer epitaxy deunyddiau lled-ddargludyddion eraill fel GaAs, InP, ac ati.

Mae VET Energy yn defnyddio graffit purdeb uchel gyda gorchudd CVD-SiC i wella sefydlogrwydd cemegol:

Manteision Atalydd Barrel Epi Graffit Epitaxial VET Energy:

- Sefydlogrwydd tymheredd uchel;
-Unffurfiaeth thermol da;
-Yn gallu prosesu swbstradau lluosog ar yr un pryd, gan wella effeithlonrwydd cynhyrchu;
-Anadweithiol yn gemegol, gan gynnal amgylchedd twf purdeb uchel.